[实用新型]一种硅晶片生产用切割夹具

说明书

本实用新型公开了一种硅晶片生产用切割夹具，包括支撑基座，所述支撑基座的顶端设有防护壳，所述防护壳的内部设有调节机构，所述防护壳的内部活动连接有伸缩杆，所述伸缩杆的顶端活动连接有第一活动块，所述支撑基座的顶端固定安装有工作台，所述工作台的顶端设有支撑块，所述第一活动块与支撑块的顶端活动连接，所述第一活动块端头处的底端固定安装有T形压块，所述防护壳的表面固定安装有第一固定块。本实用新型通过防护壳内部设置的调节机构、第一活动块、支撑块和T形压块的配合设置，使得T形压块能够快速的将工作台上的硅晶片夹紧固定，且固定牢靠，以防止硅晶片被刀具切割时，发生偏摆，造成刀具切割精度不高。

技术领域

本实用新型涉及硅晶片生产设备技术领域，具体为一种硅晶片生产用切割夹具。

背景技术

硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。

目前的硅晶片生产用切割夹具，不方便快速的将硅晶片固定在工作台上，且固定不牢靠，一般的硅晶片生产用切割夹具对硅晶片的夹紧固定具有一定局限性，不方便夹紧固定大小不同的硅晶片，即实用性差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅晶片生产用切割夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅晶片生产用切割夹具，包括支撑基座，所述支撑基座的顶端设有防护壳，所述防护壳的内部设有调节机构，所述防护壳的内部活动连接有伸缩杆，所述伸缩杆的顶端活动连接有第一活动块，所述支撑基座的顶端固定安装有工作台，所述工作台的顶端设有支撑块，所述第一活动块与支撑块的顶端活动连接，所述第一活动块端头处的底端固定安装有T形压块，所述防护壳的表面固定安装有第一固定块，所述第一固定块的内部设有锁紧钉。

所述调节机构包括电机，所述防护壳的内部固定安装有电机，所述电机的动力输出端固定安装有螺纹杆，所述螺纹杆的表面旋合有第二活动块。

优选的，所述支撑块的底端固定安装有第二T形块，且工作台的内部开设有与第二T形块相适配的滑槽。

优选的，所述防护壳的底端固定安装有第一T形块，且支撑基座的内部开设有与第一T形块相适配的滑槽。

优选的，所述支撑块的表面固定安装有第二固定块，且第二固定块的内部也设有锁紧钉。

优选的，所述T形压块的底端固定安装有软性垫块。

优选的，所述防护壳的内部固定安装有支撑杆，且第二活动块活动连接在支撑杆的表面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该硅晶片生产用切割夹具，通过防护壳内部设置的调节机构、第一活动块、支撑块和T形压块的配合设置，使得T形压块能够快速的将工作台上的硅晶片夹紧固定，且固定牢靠，以防止硅晶片被刀具切割时，发生偏摆，造成刀具切割精度不高。

2、该硅晶片生产用切割夹具，通过工作台和支撑基座的内部开设的滑槽、第一T形块、第二T形块、第一固定块、第二固定块、锁紧钉和夹紧机构的配合设置，便于T形压块夹紧固定大小不同的硅晶片。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型工作台和支撑基座的内部结构示意图；

图3为本实用新型防护壳的内部结构示意图。

图中：1、支撑基座；2、防护壳；3、调节机构；301、电机；302、螺纹杆；303、第二活动块；4、伸缩杆；5、第一活动块；6、工作台；7、支撑块；8、T形压块；9、第一固定块；10、锁紧钉。

具体实施方式