[实用新型]一种硅片甩干机转子取出专用工具

说明书

本实用新型公开了一种硅片甩干机转子取出专用工具，结构包括双头螺杆、六角螺母、挡板、旋转轴、扳把，其利用旋转轴与挡板的配合作用使得转子的伸长轴产生向外的作用力，从而将转子拔出，该结构简单便利，能够节省大量的转子的拆卸时间，为硅片甩干机的维修与保养提供便利，保障维修的质量。

技术领域

本实用新型属于半导体制造设备领域，具体地，涉及一种硅片甩干机转子取出专用工具。

背景技术

硅片甩干机用于晶圆的掩模清洗和干燥，是半导体湿法清洗工艺中必不可少的主流设备之一，其利用转子的旋转实现硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干，在使用和维护过程中，需要取出转子进行转子和腔体的清洁。硅片甩干机的转子通过空心的伸长轴与空心电机轴固定连接，由于使用年限较长，以及环境中化学品的腐蚀，转子的伸长轴和空心电机轴会产生腐蚀生锈，进而造成转子和空心电机轴卡死无法取出。由于腔体壁板较薄，利用腔体壁板作为支撑进行取出会造成腔体变形。如不取出，会造成腔体的污染，并会影响硅片的清洗效果。

因此基于上述现有技术的缺陷，亟需一种硅片甩干机转子取出专用工具，在取出转子的过程中不会对设备腔体造成损坏。

实用新型内容

为克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片甩干机转子取出专用工具，可以有效的对转子进行拆卸。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种硅片甩干机转子取出专用工具，结构包括双头螺杆、六角螺母、挡板、旋转轴、扳把，所述双头螺杆的一端与六角螺母的一端螺纹连接，所述六角螺母的另一端与旋转轴的一端抵接，所述旋转轴由前端、螺纹段、尾端顺次连接组成，所述前端为锥体结构，所述螺纹段的外表面设有外螺纹，所述尾端为长方体结构，且尾端的外表面设有两个通孔，所述两个通孔相互垂直贯穿，所述扳把为一圆柱体并贯穿任意一个通孔，所述挡板为凸形结构，且挡板的外表面设有两个螺纹孔，所述两个螺纹孔的中轴线空间垂直，所述螺纹段与任意所述螺纹孔相互配合螺纹连接。

优选地，所述双头螺杆、六角螺母、旋转轴的中心轴均在同一条直线上。

优选地，所述旋转轴的前端恰好抵接至六角螺母的侧面，进而实现六角螺母的另一端与旋转轴的一端抵接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过双头螺杆与空心电机轴固定，组成受力点，利用旋转轴与挡板的配合作用使得转子的伸长轴产生向外的作用力，从而将转子拔出，该结构简单便利，能够节省大量的转子的拆卸时间，为硅片甩干机的维修与保养提供便利。

附图说明

图1为本实用新型的连接结构的示意图；

图2为本实用新型中挡板的结构示意图；

图3为本实用新型中旋转轴的结构示意图；

图4为实施例的示意图；

图中所示附图标记为：1-双头螺杆、2-六角螺母、3-旋转轴、4-挡板、5-扳把、6-空心电机轴、7-伸长轴、301-前端、302-螺纹段、303-尾端、304-通孔、401-螺纹孔。

具体实施方式

以下结合附图对本设计方案进行详细说明。