[实用新型]一种电镀阴极遮挡装置有效
申请号: | 202022815337.1 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN214572325U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 吴勇军 | 申请(专利权)人: | 深圳明阳芯蕊半导体有限公司 |
主分类号: | C25D17/10 | 分类号: | C25D17/10 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 杨敏 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电镀 阴极 遮挡 装置 | ||
1.一种电镀阴极遮挡装置,其特征在于,所述遮挡装置包括固定部件和遮挡边框,所述固定部件用于实现与待镀板的固定,所述遮挡边框用于遮挡待镀板的边缘部分,其中,所述遮挡边框由导电材料制成并且外表面包覆有不导电材料,其中,所述遮挡边框的至少一部分为裸露的以暴露出部分导电材料。
2.根据权利要求1所述的遮挡装置,其特征在于,所述遮挡边框包括上、下、左、右四个边框,以分别用于遮挡待镀板的四周边缘部分。
3.根据权利要求2所述的遮挡装置,其特征在于,所述遮挡边框的外侧的至少一部分为裸露的,以暴露出部分导电材料。
4.根据权利要求3所述的遮挡装置,其特征在于,所述遮挡边框的内侧的至少一部分为裸露的,以暴露出部分导电材料。
5.根据权利要求4所述的遮挡装置,其特征在于,所述不导电材料为不导电胶。
6.根据权利要求5所述的遮挡装置,其特征在于,所述遮挡边框的内侧和外侧分别设有包胶包边并且中间部分裸露出导电材料。
7.根据权利要求6所述的遮挡装置,其特征在于,所述遮挡边框的内侧和外侧的裸露部分的宽度为10mm-40mm。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的遮挡装置,其特征在于,所述导电材料为不锈钢或铜。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的遮挡装置,其特征在于,所述固定部件为均匀间隔分布的多个夹头。
10.根据权利要求6所述的遮挡装置,其特征在于,包胶厚度为3mm-8mm,包胶宽度为5mm-10mm。
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