[实用新型]单列式框架固晶机有效
| 申请号: | 202022813823.X | 申请日: | 2020-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN213583728U | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
| 发明(设计)人: | 黄雄 | 申请(专利权)人: | 深圳市昌富祥智能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人: | 何兵 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单列 框架 固晶机 | ||
1.一种单列式框架固晶机,其特征在于,包括:
料板上料仓,连接有Z轴升降机构;
上料机械手,包括有吸附机构、第一夹料机构和第一移动机构,所述吸附机构和所述第一夹料机构沿所述移动机构的其中一个移动方向并列设置,所述移动机构驱动所述吸附机构和所述第一夹料机构移动;
刷胶机构,包括第一移动平台和刷胶台;
芯片料台,连接有第二移动平台;
封装平台,连接有第三移动平台;
封装机械手,包括有第二移动机构和封装臂;
下料机构,包括下料机械手和下料仓,所述下料机械手包括有第二夹料机构;
其中,所述吸附机构吸取所述料板上料仓内的料板放置于第一移动平台,所述刷胶台配合所述第一移动平台进行刷胶,所述第一夹料机构夹取刷胶后的料板放置于封装平台,所述封装机械手从所述芯片料台拾取芯片封装至所述封装平台上的料板上,所述下料机械手拾取封装后的料板至下料仓。
2.根据权利要求1所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述第二移动机构包括Z轴移动机构和R轴旋转机构,所述封装臂以R轴对称,所述封装臂的两端各设有一吸头。
3.根据权利要求2所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述芯片料台和所述封装平台沿X轴设置在所述封装机械手的两端。
4.根据权利要求1所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述第一移动平台、所述第二移动平台和所述第三移动平台各连接有一XY双轴移动机构。
5.根据权利要求1所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述下料仓包括料夹层、产品仓、Z轴升降台和推杆机构,料夹层包括驱动料夹移动的直线机构,所述直线机构将空料夹移动到Z轴升降台上,所述下料机械手装载产品,所述推杆机构配合所述Z轴升降台将装满产品的料夹推入产品仓。
6.根据权利要求5所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述料夹层的直线机构沿X轴移动。
7.根据权利要求1所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述上料机械手沿X轴移动,所述料板上料仓和所述刷胶机构沿X轴设置。
8.根据权利要求1所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述下料机械手沿Y轴移动,设置在所述第三移动平台的Y轴导轨的一侧。
9.根据权利要求1所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述封装机械手还包括向所述封装平台检测的工业视觉相机。
10.根据权利要求1所述的一种单列式框架固晶机,其特征在于,所述第一夹料机构和所述第二夹料机构包括Z轴推杆、锥形推头、第一夹杆、第二夹杆、导向杆、第一夹臂、第二夹臂和弹性件,所述弹性件驱动所述第一夹杆和所述第二夹杆相互靠近,所述Z轴推杆推动所述锥形推头抵持在所述第一夹臂和所述第二夹杆之间,所述第一夹杆与所述第一夹臂固定连接,所述第二夹杆与所述第二夹臂固定连接,所述导向杆一端滑动套设在所述第一夹臂内另一端滑动套设在第二夹臂内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





