[实用新型]用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置

说明书

本实用新型公开了用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，包括紫外皮秒激光器、光路系统和第一振镜；光路系统包括箱体，箱体设有光路入口和光路出口，光路入口与紫外皮秒激光器的输出端相连接，光路系统用于改变激光束的路径，使激光束从光路出口射出；第一振镜设于箱体的外侧，并且第一振镜与光路出口对应设置；由光路出口射出的激光束经第一振镜进行偏转后，正对加工治具。本实用新型采用紫外皮秒激光器为冷光源，对加工材料的热影响小，并且加工精度高，加工缝隙小，加工边缘光滑、无毛刺，能够大幅提升生产效率。

技术领域

本实用新型涉及激光模切技术领域，特别涉及用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置。

背景技术

铜箔具有低表面氧气特性，可以附着与各种不同基材，如金属，绝缘材料等，拥有较宽的温度使用范围。铜箔是一种阴质性电解材料，是覆铜板(CCL)及印制电路板(PCB)制造的重要的材料，主要应用于电磁屏蔽及抗静电，将导电铜箔置于衬底面，结合金属基材，具有优良的导通性，并提供电磁屏蔽的效果。

在传统的铜箔加工工艺中，通常采用化学蚀刻的方法在铜箔的表面加工出不同的图案或者形状，然而蚀刻液的污染问题以及安全问题始终难以解决；另外，不同批次之间蚀刻效果的稳定性也难以保证，产品均一性差。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，能够解决上述现有技术问题中的一种或几种。

根据本实用新型的一个方面，提供了用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，包括紫外皮秒激光器、光路系统和第一振镜；

光路系统包括箱体，箱体设有光路入口和光路出口，光路入口与紫外皮秒激光器的输出端相连接，光路系统用于改变激光束的路径，使激光束从光路出口射出；

第一振镜设于箱体的外侧，并且第一振镜与光路出口对应设置；由光路出口射出的激光束经第一振镜进行偏转后，正对加工治具。

本实用新型的有益效果在于，紫外皮秒激光器提供冷光源，发射出的激光束经光路入口进入光路系统更改路径，再由光路出口射出，射出的激光束由第一振镜进行偏转，即可以对置于加工治具上的铜箔进行切割或雕刻。皮秒激光作为为冷光源，对铜箔的热影响较小，可以保证铜箔产品形状良好。另外，采用皮秒激光进行切割，加工缝隙小，加工边缘光滑、无毛刺，能够大幅降低产品的不良率，产品加工精度高、稳定性好，能够提高生产效率。

在一些实施方式中，光路系统还包括棱镜和第二振镜；棱镜和第二振镜均配置于箱体内，光路出口为多个。

其有益效果在于，第二振镜能够实现激光光束的偏转，更改激光的路径；而棱镜可以用于将一束激光一分为二，光路出口设置多个，实现多工位镭射，多个工位同时加工治具内的铜箔产品进行激光镭射加工，提高工作效率。根据需要，第二振镜可设置多个，保证激光束经过偏转从光路出口射出；棱镜也可以设置多个使得激光束的数量与光路出口一一对应。

在一些实施方式中，紫外皮秒激光器的输出端与光路入口之间配置有扩束镜。

其有益效果在于，通过扩束镜扩大激光光束的直径，降低波前误差。

在一些实施方式中，光路出口与第一振镜之间配置有飞行光路；第一振镜还与聚焦镜相连接，聚焦镜正对加工治具。

其有益效果在于，通过飞行光路来改变激光束的传输方向，使激光束传输成为一个动态的传输，以满足生产需求。通过聚焦镜将激光束在整个打标平面内形成均匀大小的聚焦光斑，将激光在整个加工治具的标刻平面形成聚焦。

在一些实施方式中，第一振镜与Z向升降机构相连接；Z向升降机构包括Z向设置的第一滑轨以及配置于第一滑轨上的第一滑块，第一振镜通过第一连接件与第一滑块固定连接。

其有益效果在于，通过Z向升降机构可以带动第一振镜沿Z向移动，调整第一振镜高度，从而可以调整激光束的聚焦位点，保证激光镭射的精度。