[实用新型]一种光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置

权利要求书

1.一种光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，包括激光源、LED光源组件、光源基座和底座；所述激光源设置在所述光源基座的中心，所述LED光源组件围绕所述激光源分布在所述光源基座上，所述底座与光源基座连接形成一聚光内腔，所述底座上设有出光口；

其中，所述LED光源组件包括固定座、LED光源、第一冷却接口和第二冷却接口，所述LED光源固定在所述固定座上，所述固定座内设有第一内腔，所述第一冷却接口和第二冷却接口分别与所述第一内腔连通；

所述底座内设有第二内腔，所述第二内腔围绕所述出光口设置，所述底座上设有第三冷却接口和第四冷却接口，所述第三冷却接口和第四冷却接口分别与所述第二内腔连通。

2.根据权利要求1所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，所述光源基座的中心设有激光源安装位，所述光源基座上还设有围绕所述激光源安装位分布的LED光源安装位，所述激光源安装在所述激光源安装位上，所述LED光源组件安装在所述LED光源安装位上。

3.根据权利要求2所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，所述LED光源组件还包括镜筒，所述镜筒与所述固定座连接，并贯穿所述LED光源安装位；所述固定座固定在所述LED光源安装位上；所述LED光源位于所述固定座与镜筒形成的空腔中。

4.根据权利要求3所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，所述LED光源安装位包括供所述镜筒插入的镜筒安装孔和供所述固定座固定连接的第一螺孔，所述固定座上设有与所述第一螺孔相适配的第二螺孔，所述第一螺孔和第二螺孔通过螺栓固定连接。

5.根据权利要求4所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，所述镜筒安装孔的内壁上设有内螺纹，所述镜筒设有外螺纹，所述镜筒与镜筒安装孔螺纹连接。

6.根据权利要求2所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，所述激光源上固定套设有一固定环，所述固定环固定连接在所述激光源安装位上。

7.根据权利要求6所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，所述固定环上设有第三螺孔；所述激光源安装位包括激光源安装孔和第四螺孔，所述激光源贯穿所述激光源安装孔，所述第三螺孔和第四螺孔通过螺栓固定连接。

8.根据权利要求1所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，还包括激光限位板和顶板，所述顶板、激光限位板、光源基座和底座从上到下顺序排列，所述顶板与底座之间连接有连接柱，所述连接柱贯穿所述激光限位板；所述激光源的一端贯穿所述激光限位板和顶板，另一端安装固定在所述光源基座上。

9.根据权利要求8所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，所述激光限位板和顶板上均设有供所述激光源穿过的通孔。

10.根据权利要求2所述的光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，其特征在于，所述光源基座的一侧表面为曲面，所述底座位于所述曲面的相对侧，所述激光源安装位和LED光源安装位均设置在所述曲面上。