[实用新型]一种基于声表面波雾化器应用的系统

说明书

本实用新型提供了一种基于声表面波雾化器应用的系统，通过声表面波雾化器对液滴进行雾化形成雾剂后，通过加热装置将所述雾剂在所述雾化受体表面加热成膜；从而可形成均匀的薄膜层。进一步地，加热装置包括热板、嵌入热板的若干个顶针及真空吸附孔，且所述热板为可旋转体；所述顶针用于支撑所述雾化受体；所述真空吸附孔用于吸附所述雾化受体，可用于旋涂成膜工艺，雾滴通过热板迅速烘烤固化有助于减缓旋涂方式导致的液膜不平现象，同时，由于烘烤过程中溶剂的蒸发可降低溶剂表面张力的影响，且适宜的烘烤温度可以使得雾滴具有一定的流动性，进而流延成膜。

技术领域

本实用新型涉及声表面波雾化器应用领域，尤其涉及一种基于声表面波雾化器应用的系统。

背景技术

在芯片的生产过程中，由于干法刻蚀完成后，芯片表面具有较深的沟槽，目前通常采用旋转涂胶的方式进行匀胶，然而由于旋涂方式产生的离心力会导致光刻胶积聚在沟槽部分，出现光刻胶分布不均现象；且由于溶剂表面的张力，而导致台面四周的胶偏薄而中间部分胶偏厚的现象出现，影响后续的光刻工艺。目前，市场上出现一种采用超声波喷雾涂光刻胶的方式，但是其产生的雾剂颗粒太大，虽然能够保证整片外延片都覆盖有胶，但会使喷涂而成的光刻胶太厚，无法适用于小尺寸芯片，尤其无法满足Micro-LED芯片的生产。虽然，静电喷雾的方式亦可实现纳米级别的雾剂，但静电喷雾过程需要对受体进行导电，然而，针对PV薄膜沉积之后的外延片无法满足导电要求。

有鉴于此，本发明人专门设计了一种基于声表面波雾化器应用的系统，本案由此产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于声表面波雾化器应用的系统，以解决现有技术中在小尺寸受体(如LED芯片/外延片等)表面形成液膜过程时的喷雾不均匀、液膜厚度过厚的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种基于声表面波雾化器应用的系统，包括：

声表面波雾化器，其用于对液滴进行雾化形成雾剂；

加热装置，其设置于在所述声表面波雾化器的下方，用于支撑雾化受体并将所述雾剂在所述雾化受体表面加热成膜；

液滴供给装置，其设置于在所述声表面波雾化器的上方或下方，用于提供液滴，并使其附着于所述声表面波雾化器表面；

外部电装置，其用于将电功率供应到所述声表面波雾化器以便在所述声表面波雾化器的表面上产生声波，从而使在位于所述声表面波雾化器表面的液滴形成雾剂。

优选地，所述加热装置包括热板、嵌入热板的若干个顶针及真空吸附孔；所述热板用于加热；所述顶针用于支撑所述雾化受体；所述真空吸附孔用于吸附所述雾化受体。

优选地，所述热板通过内嵌若干个加热丝进行通电加热；所述顶针及真空吸附孔分别位于相邻两个加热丝之间。

优选地，所述热板为可旋转体。

优选地，还包括抽真空装置，所述抽真空装置设于所述加热装置外围，并通过真空泵连接所述真空吸附孔。

优选地，所述声表面波雾化器包括：

压电基底，所述压电基底的表面设有液滴附着点；

设置于所述压电基底表面的若干个叉指换能器，所述叉指换能器包括多个圆弧电极及与两个相对的电极连接部；其中，各所述叉指换能器围绕所述液滴附着点而间隔分布，且通过其电极连接部相互并联连接于外部电装置；

固定在所述压电基底上，且设置于所述叉指换能器外围的吸声结构。

优选地，所述吸声结构包括合成橡胶、天然橡胶中的一种或多种吸声材料。

优选地，所述液滴通过导管直接传输至所述液滴附着点。