[实用新型]一种石英抛光用加工辅助装置

说明书

本实用新型公开了一种石英抛光用加工辅助装置，包括负压吸盘和用于实现产品快速安装定位的定位环，所述负压吸盘与定位环固定连接，在所述负压吸盘内设置有用于与产品表面形成负压的抽气孔和用于辅助释放产品的导气孔。本实用新型提供一种石英抛光用加工辅助装置，实现快速装夹、且对产品表面不易产生划伤，有利于提高产品的合格率。

技术领域

本实用新型涉及石英玻璃加工领域，尤其是涉及一种石英抛光用加工辅助装置。

背景技术

石英玻璃产品属于半导体设备中的重要组成产品，作为观察视窗类的小饼状石英产品需求量越来越大，因其体积较小且对产品表面质量要求较高，过往加工中装夹较麻烦，耗时较长，且容易使产品表面划伤，影响产品的一次合格率。

例如，在中国专利文献上公开的“一种齿轮组调节式石英陶瓷辊装夹装置”，其公告号CN205420158U，包括底座，底座上设有装夹臂，装夹臂的端部对内朝向面设有咬齿，装夹臂的端部对内朝向面设有扣槽，装夹臂连接有限位杆，限位杆与底座连接，装夹臂的后端连接有调节杆，调节杆设有调节齿轮，调节齿轮安装在底座上。该实用新型通过扣槽可以牢固地扣住石英陶瓷辊，调节齿轮的相互之间进行旋转可以对装夹臂进行调节，从而方便对石英陶瓷辊的装夹更加牢固，使用该装置来装夹石英玻璃时，很容易使产品表面划伤，影响产品的合格率。

实用新型内容

本实用新型是为了克服上述现有技术中装夹较麻烦、耗时较长、且容易使产品表面划伤的问题，提供一种石英抛光用加工辅助装置，实现快速装夹、且对产品表面不易产生划伤，有利于提高产品的合格率。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英抛光用加工辅助装置，包括负压吸盘和用于实现产品快速安装定位的定位环，所述负压吸盘与定位环固定连接，在所述负压吸盘内设置有用于与产品表面形成负压的抽气孔和用于辅助释放产品的导气孔。

在该技术方案中，负压吸盘用于固定产品，而定位环用于快速定位产品，同时将产品固定在定位环内防止产品大范围移动，在产品加工前，将产品放置在定位环中，这就使抽气孔形成一个封闭的空间，再通过抽气装置不断从抽气孔内抽气，在产品与负压吸盘接触的一侧形成负压，即产品两侧的压力差大于自身重力进而将产品固定，该过程操作方便快捷，实现了快速装夹，且产品与负压吸盘之间为面接触，不易对产品表面产生划伤，有利于提高产品的合格率；另外，在产品加工完成后，通过在导气孔内充气即可将产品和负压吸盘分开，便于产品取下，产品拆装方便快速，为加工人员加工节省了时间。

作为优选，在所述定位环上设置有定位缺口，所述定位缺口开口朝向定位环的内侧。定位缺口与产品配合，便于快速定位产品。

作为优选，在所述负压吸盘上设置有用于安装定位环的第二安装槽，所述定位环的厚度H大于第二安装槽的深度D。第二安装槽不仅用于安装定位环，还对定位环的安装起到定位作用，便于快速确定定位环的安装位置，提高安装效率，而定位环的厚度H大于第二安装槽的深度D有利于定位环与负压吸盘之间形成台阶面，便于定位产品。

作为优选，还包括固定件，在所述定位环上设置有第一固定孔，在所述第二安装槽上设置有第二固定孔，固定件依次穿设第一固定孔和第二固定孔将定位环固定在第二安装槽上。定位环通过固定件固定在负压吸盘上，操作方便快捷，这里定位件设置为螺钉，第一定位孔和第二定位孔均为螺纹孔，这样的设置在保证安装方便快捷的同时还保证了定位环与负压吸盘之间的连接牢固度。

作为优选，在第二安装槽上设置有与定位缺口配合的定位凸起，所述定位凸起的高度A小于第二安装槽的深度D。定位凸起的设置用于辅助定位环定位安装，便于使第一固定孔和第二固定孔快速定位，提高定位环安装效率，而定位凸起的高度A小于第二安装槽的深度D避免了定位凸起影响产品的定位。