[实用新型]用于长晶炉的支撑组件和长晶炉组件

权利要求书

1.一种用于长晶炉的支撑组件，其特征在于，所述长晶炉(101)包括由上向下依次相连的第一炉体组件(1011)、第二炉体组件(1012)和第三炉体组件(1013)，所述第一炉体组件(1011)与所述第二炉体组件(1012)可分离配合，所述第二炉体组件(1012)与所述第三炉体组件(1013)可分离配合，其中，所述第一炉体组件(1011)内限定出拉晶室(101a)，所述第二炉体组件(1012)和所述第三炉体组件(1013)内共同限定出晶体生长室(101b)，所述晶体生长室(101b)与所述拉晶室(101a)连通且用于放置所述长晶炉(101)的坩埚(1013b)，

所述支撑组件(100)包括：

第一支撑装置(1)，所述第一支撑装置(1)适于与所述第一炉体组件(1011)相连以至少驱动所述第一炉体组件(1011)上下移动；

第二支撑装置(2)，所述第二支撑装置(2)适于与所述第二炉体组件(1012)相连以至少驱动所述第二炉体组件(1012)绕所述第二支撑装置(2)的中心轴线转动；

第三支撑装置(3)，所述第三支撑装置(3)适于与所述第三炉体组件(1013)相连以至少驱动所述第三炉体组件(1013)上下移动。

2.根据权利要求1所述的用于长晶炉的支撑组件，其特征在于，所述第一炉体组件(1011)包括第一炉体本体(1011a)和设在所述第一炉体本体(1011a)内的冷却结构(1011b)，所述第一支撑装置(1)包括：

第一支撑柱(11)；

第一连接臂(12)，所述第一连接臂(12)适于与所述第一炉体组件(1011)相连，所述第一连接臂(12)通过第一升降机构(13)可升降地设在所述第一支撑柱(11)上，以用于驱动所述第一炉体组件(1011)在第一位置和第二位置之间上下移动，所述第一位置位于所述第二位置的上方，且所述第一连接臂(12)通过第一旋转机构(14)可转动地设在所述第一支撑柱(11)上，以用于驱动所述第一炉体组件(1011)绕所述第一支撑柱(11)的中心轴线转动。

3.根据权利要求2所述的用于长晶炉的支撑组件，其特征在于，所述第一旋转机构(14)构造成在所述第一连接臂(12)将所述第一炉体组件(1011)驱动至所述第一位置时，所述第一连接臂(12)可相对所述第一支撑柱(11)转动。

4.根据权利要求1所述的用于长晶炉的支撑组件，其特征在于，所述第二炉体组件(1012)包括第二炉体本体(1012a)和设在所述第二炉体本体(1012a)内的保温层(1012b)和导流筒(1012c)，所述第二支撑装置(2)包括：

第二支撑柱(21)；

第二连接臂(22)，所述第二连接臂(22)适于与所述第二炉体组件(1012)相连，所述第二连接臂(22)为多个且每个所述第二连接臂(22)通过第二旋转机构(23)可转动地设在所述第二支撑柱(21)上，多个所述第二连接臂(22)分别用于驱动不同的所述第二炉体组件(1012)绕所述第二支撑柱(21)的中心轴线转动。

5.根据权利要求4所述的用于长晶炉的支撑组件，其特征在于，所述第二连接臂(22)为两个，每个所述第二连接臂(22)沿所述第二支撑柱(21)的径向延伸，两个所述第二连接臂(22)之间的夹角位于90°～180°范围内。

6.根据权利要求5所述的用于长晶炉的支撑组件，其特征在于，所述第二连接臂(22)通过第二升降机构(24)可升降地设在所述第二支撑柱(21)上，以用于驱动所述第二炉体组件(1012)上下移动。