[实用新型]一种用于光学镜片的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202022765274.3 申请日: 2020-11-25
公开(公告)号: CN213924985U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 张贵生;王桂利;张峪 申请(专利权)人: 天津广普光学仪器有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 刘富艳
地址: 300000 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 光学镜片 真空镀膜
【说明书】:

实用新型提供了一种用于光学镜片的真空镀膜机,属于镀膜机技术领域。该用于光学镜片的真空镀膜机包括基础组件和填料组件。所述填料组件包括第一电机、第一横板、第一气缸、第一滑杆、第二横板、空心箱、第二电机、双螺纹杆、第二滑杆、连接块、夹臂、第二气缸、料斗、第三电机、第三横板、挡板和进料管,所述第一电机固定在所述真空镀膜机本体的上表面,使用时,使挡板从料斗的下端移开,即使靶材从料斗内跑出再通过进料管进入到坩埚内,控制第三电机输出轴的反转,使挡板再次把料斗的下端堵住,该真空镀膜机只需一段时间对坩埚进行清洗更换即可,且不需要人工进行靶材的填加,大大的降低了人工的劳动量。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机领域,具体而言,涉及一种用于光学镜片的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前,现有的用于光学镜片的真空镀膜机,当真空镀膜机内的靶材用完时,需要人工把坩埚从真空镀膜机内取下,再把靶材重新注入到新的坩埚内后,再次插回到真空镀膜机内,大大的提高了人工的劳动量。

实用新型内容

为了弥补以上不足,本实用新型提供了一种用于光学镜片的真空镀膜机,旨在改善当真空镀膜机内的靶材用完时,需要人工把坩埚从真空镀膜机内取下,再把靶材重新注入到新的坩埚内后,再次插回到真空镀膜机内的问题。

本实用新型是这样实现的:

本实用新型提供一种用于光学镜片的真空镀膜机,包括基础组件和填料组件。

所述基础组件包括真空镀膜机本体、坩埚、第一密封门和第二密封门,所述坩埚插设在所述真空镀膜机本体内,所述第一密封门和所述第二密封门均通过铰页固定在所述真空镀膜机本体上。

所述填料组件包括第一电机、第一横板、第一气缸、第一滑杆、第二横板、空心箱、第二电机、双螺纹杆、第二滑杆、连接块、夹臂、第二气缸、料斗、第三电机、第三横板、挡板和进料管,所述第一电机固定在所述真空镀膜机本体的上表面,所述第一横板固定在所述第一电机的输出轴端部,所述第一气缸和所述第一滑杆均固定在所述第一横板的下表面。

所述第二横板固定在所述第一气缸的活塞杆下端,所述第一滑杆滑动贯穿所述第二横板,所述空心箱固定在所述第二横板的下表面,所述双螺纹杆的一端转动设置在所述空心箱的内壁上,所述第二电机固定在所述空心箱的外壁上,所述第二电机的输出轴与所述双螺纹杆的另一端固定在一起,所述第二滑杆固定在所述空心箱的内壁上,所述连接块螺纹套设在所述双螺纹杆上。

所述连接块同样滑动套设在所述第二滑杆上,所述夹臂固定在所述连接块的侧表面,所述第二气缸固定在所述真空镀膜机本体的内壁上,所述进料管的侧表面固定在所述第二气缸的活塞杆端部,所述料斗固定在所述真空镀膜机本体上,所述第三横板固定在所述料斗的外壁上,所述第三电机固定在所述第三横板的上表面,所述挡板固定在所述第三电机的输出轴端部,所述挡板和所述料斗贴合在一起。

在本实用新型的一种实施例中,所述基础组件还包括底座,所述底座固定在所述真空镀膜机本体的下表面。

在本实用新型的一种实施例中,所述第一密封门包括第一密封门本体和手持部,所述第一密封门本体通过铰页固定在所述真空镀膜机本体上,所述手持部固定在所述第一密封门本体的外壁上。

在本实用新型的一种实施例中,所述第一电机包括第一电机本体和防护外壳,所述第一电机本体和所述防护外壳均固定在所述真空镀膜机本体的上表面,所述第一电机本体设在所述防护外壳内。

在本实用新型的一种实施例中,所述填料组件还包括限位块,所述限位块固定在所述第一滑杆的外壁上。

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