[实用新型]一种晶片转移夹持装置有效

专利信息
申请号: 202022761215.9 申请日: 2020-11-25
公开(公告)号: CN213483734U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 曲元瑗;樊海强;彭怀忠;王鼎 申请(专利权)人: 忻州中科晶电信息材料有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/677
代理公司: 太原达引擎专利代理事务所(特殊普通合伙) 14120 代理人: 朱世婷
地址: 030000 山西省忻*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶片 转移 夹持 装置
【权利要求书】:

1.一种晶片转移夹持装置,其特征在于,包括:左夹持条(1)、握杆一(4)、连杆(5)、握杆二(6)、夹持定位件(20)、右夹持条(14)和导向孔(17),弧形的所述左夹持条(1)用于夹持轴向水平放置的晶片(2)左边缘,弧形的所述右夹持条(14)与所述左夹持条(1)配合用于夹持晶片(2)右边缘,所述左夹持条(1)的上端与竖直设置的所述握杆一(4)下端固定,所述右夹持条(14)的上端与竖直设置的所述握杆二(6)的下端固定,水平设置的所述连杆(5)一端与所述握杆一(4)固定,所述连杆(5)上开设有所述握杆二(6)贯穿的所述导向孔(17),所述导向孔(17)采用沿所述连杆(5)长度方向的条形孔,所述握杆二(6)可沿所述条形孔水平往复移动,所述连杆(5)的另一端连接有将所述右夹持条(14)定位的所述夹持定位件(20)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片转移夹持装置,其特征在于,所述左夹持条(1)设置有卡条孔(15),所述卡条孔(15)为沿所述左夹持条(1)长度方向的长条形孔,晶片(2)的边缘可卡接于所述卡条孔(15)内,所述卡条孔(15)的上端和下端均设置有转轮(16)和转轴(3),所述转轴(3)与晶片(2)轴向相平行转动设置于所述卡条孔(15)内,所述转轮(16)与所述转轴(3)同轴固定。

3.根据权利要求2所述的一种晶片转移夹持装置,其特征在于,所述夹持定位件(20)包括:横移杆(7)、插槽(8)、压板(9)、连接轴(10)、压杆(11)、弹簧片(12)、握筒(13)、贯穿孔(18)和插针(19),水平设置的所述握筒(13)的一端与所述连杆(5)的另一端固定,所述横移杆(7)的一端滑动套设于所述握筒(13)内,所述横移杆(7)的另一端与所述握杆二(6)固定,所述横移杆(7)的上表面并排设置有多个所述插槽(8),所述握筒(13)的上壁开设有所述贯穿孔(18),所述插针(19)贯穿所述贯穿孔(18),且所述插针(19)的下端与所述插槽(8)相匹配,所述插针(19)的上端与水平设置于所述握筒(13)上方的所述压板(9)相固定,所述压板(9)背离所述握杆二(6)的一端与水平设置的所述连接轴(10)轴承连接,所述连接轴(10)与晶片(2)轴向平行设置,所述连接轴(10)与所述握筒(13)上表面固定,所述压杆(11)的一端与所述压板(9)固定,所述压杆(11)的另一端为活动端,按压所述压杆(11)可驱动所述压杆(11)与所述压板(9)围绕所述连接轴(10)翻转,所述压杆(11)与所述握筒(13)上表面之间连接有所述弹簧片(12),所述弹簧片(12)用于驱动所述压杆(11)活动端远离所述握筒(13)。

4.根据权利要求3所述的一种晶片转移夹持装置,其特征在于,所述右夹持条(14)用于贴合晶片(2)边缘圆弧的内表面固定有防滑垫,且防滑垫采用镂空结构。

5.根据权利要求4所述的一种晶片转移夹持装置,其特征在于,所述转轮(16)采用橡胶材质。

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