[实用新型]一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置有效
| 申请号: | 202022748493.0 | 申请日: | 2020-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN213876311U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
| 发明(设计)人: | 欧祖应 | 申请(专利权)人: | 重庆市巴南区腾易包装设计有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 重庆越利知识产权代理事务所(普通合伙) 50258 | 代理人: | 常鑫 |
| 地址: | 401320 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 自动 液体 曝光 循环 冷却 装置 | ||
本实用新型提供一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置,涉及曝光机技术领域,包括底箱,所述底箱的内表面底部设置有液泵,所述液泵的进液端设置有进液管,所述液泵的出液端设置有出液管,所述底箱的内表面底部且位于液泵的一侧设置有冷却器,所述底箱的外表面顶部设置有支撑座,所述支撑座的顶部设置有液箱,所述液箱的一侧设置有排液管,所述排液管的一侧设置有电磁阀,所述液箱的内表面一侧设置有温度计,所述液箱的外表面一侧设置有控制板。解决了现有的液体版曝光机在使用时,其内部的曝光液在进行循环时冷却效果较差,同时不能对于曝光液的温度进行实时的监测,不利于长期进行使用的问题。
技术领域
本实用新型涉及曝光机领域,尤其涉及一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置。
背景技术
曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备,NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
现有的液体版曝光机在使用时,其内部的曝光液在进行循环时冷却效果较差,同时不能对于曝光液的温度进行实时的监测,不利于长期进行使用。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置,具备能够对于循环液进行很好的冷却降温与能够对于循环液的温度进行实时的监测的优点,解决了现有的液体版曝光机不能对于曝光液的温度进行实时的监测的问题。
(二)技术方案
为实现上述能够对于循环液进行很好的冷却降温与能够对于循环液的温度进行实时的监测的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置,包括底箱,所述底箱的内表面底部设置有液泵,所述液泵的进液端设置有进液管,所述液泵的出液端设置有出液管,所述底箱的内表面底部且位于液泵的一侧设置有冷却器,所述底箱的外表面顶部设置有支撑座,所述支撑座的顶部设置有液箱,所述液箱的一侧设置有排液管,所述排液管的一侧设置有电磁阀,所述液箱的内表面一侧设置有温度计,所述液箱的外表面一侧设置有控制板。
优选的,所述液箱与底箱的内部均设有曝光液。
优选的,所述进液管的一端与液泵的进液端之间连通。
优选的,所述出液管的底端贯穿底箱的一侧且与液泵的出液端之间连通。
优选的,所述排液管的顶端与液箱的底部之间连通,所述排液管的底端与底箱的顶部之间连通。
优选的,所述出液管的顶端与液箱的一侧之间连通,所述温度计的电源线与外部电源电性连接。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置,具备以下有益效果:
本实用新型中,采用的冷却器与温度计,实现能够对于循环液进行很好的冷却降温与能够对于循环液的温度进行实时的监测,在使用时,通过温度计检测到液箱内部的实时温度,当温度过高时,打开电磁阀,冷却器与启动液泵,通过液泵、进液管与出液管,将底箱与液箱内部的液体进行交换,通过冷却器的作用,可以使得底箱内部的液体温度降低,从而能够将液箱内部的温度降低,增加使用的效果。
附图说明
图1为本实用新型提出一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置的整体结构示意图;
图2为本实用新型提出一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置中控制板的结构示意图。
图例说明:
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