[实用新型]一种真空镀膜工件盘翻转装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜工件盘翻转装置，包括工转检测部件及设置在工转检测部件底部的环形工件架，环型工件架由内环型工架和外环型工架组成，所述内环型工架的外侧设有外环型工架，所述内环型工架旋装固定于工转检测部件的底部，所述内环型工架的外周沿顶部均布开设有轴槽，所述轴槽内均卡装有用于固定工件盘顶端的转动固定压座Ⅰ，所述外环型工架周沿顶部均布有与所述内环型工架外周沿顶部轴槽相对称的翻转部件固定台。本实用新型结构简单，操作方便，从而实现了工件的一次性装夹并完成双面镀膜的要求，有效的提高工作速率及生产效率。

技术领域

本实用新型属于光学设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜工件盘翻转装置。

背景技术

许多光学零件需要两个表面镀膜才能满足使用要求，如一些截止滤光片、分光镜等，需要把两种不同的膜系，分别镀在基片的两个表面，以实现各种不同的分光要求；又如最常见的透镜，必须两面镀以减反射膜，才能获得良好的成像质量及较高的透过率；通常的办法是将零件置于真空室内先镀完一个表面，然后从真空室内取出再进行第二个表面的镀制，这种方法虽然有效，但时间长效率低；以减反射膜为例:第一面镀制，需要从零件清洗、抽空、加温、镀制到冷却后取出工件，至少需要经过六、七小时，特别是大工件，需要的周期更长，在镀第二面时又要重复这一工艺过程，镀完一个零件往往要花费十几个小时的时间，因此，人们一直在设想由一次抽真空后完成两面镀膜的办法。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种结构简单、操作方便，实现工件一次装夹并完成双面镀膜要求的真空镀膜工件盘翻转装置。

为了达到上述设计目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种真空镀膜工件盘翻转装置，包括工转检测部件及设置在工转检测部件底部的环形工件架，环型工件架由内环型工架和外环型工架组成，所述内环型工架的外侧设有外环型工架，所述内环型工架旋装固定于工转检测部件的底部，所述内环型工架的外周沿顶部均布开设有轴槽，所述轴槽内均卡装有用于固定工件盘顶端的转动固定压座Ⅰ，所述外环型工架周沿顶部均布有与所述内环型工架外周沿顶部轴槽相对称的翻转部件固定台，所述翻转部件固定台中部设有与所述内环型工架外周沿顶部轴槽内均卡装的转动固定压座Ⅰ相配合的转动固定压座Ⅱ，所述转动固定压座Ⅱ的轴杆尾端均设有用于翻转的拨片，所述转动固定压座Ⅰ与转动固定压座Ⅱ之间均夹装有工件盘，所述环型工件架的外环型工架一侧设有与所述转动固定压座Ⅱ轴杆尾端拨片相配合的转动拨叉，所述转动拨叉由气缸、电机和拨叉组成，所述气缸的内杆顶端设有电机，所述电机的输出转轴上设有拨叉。

所述环型工件架的内环型工架和外环型工架之间均布有用于固定支撑用的支撑拉板。

所述翻转部件固定台内侧壁一端设有定位凸台，所述工件盘底端一侧开设有与所述翻转部件固定台内侧壁一端的定位凸台相配合的豁口。

本实用新型有益效果：在镀膜时通过本装置在同一设备中从而实现工件的一次性装夹并完成双面镀膜的要求，有效的提高工作速率及生产效率，本装置中的环型工件架的内环型工架和外环型工架之间均布的用于固定支撑用的支撑拉板，在实际生产中，不仅增加了环型工件架的使用强度而且有效的改变了内环型工架和外环型工架之间连接强度，翻转部件固定台内侧壁一端设置的定位凸台，及工件盘底端一侧开设的与翻转部件固定台内侧壁一端的定位凸台相配合的豁口，在实际生产中，操作者，可根据固定台内侧壁一端设置的定位凸台及工件盘底端一侧开设的豁口来快速对工件盘进行快速定位，有效的提高了生产速率。本实用新型结构简单，操作方便，从而实现了工件的一次性装夹并完成双面镀膜的要求，有效的提高工作速率及生产效率。

附图说明

图 1 为本实用新型一种真空镀膜工件盘翻转装置示意图。

具体实施方式