[实用新型]真空镀膜系统

权利要求书

1.真空镀膜系统，其特征在于，包括：

腔体(10)；

传输机构(20)，设置于所述腔体(10)，以输送工件(30)；

检测装置(40)，设置于所述腔体(10)，并位于所述工件(30)运行方向上；

纠偏装置，设置于所述腔体(10)，所述检测装置(40)检测到所述工件(30)偏离所述运行方向的偏斜量达到预定量时，所述纠偏装置能够纠正所述工件(30)的偏斜，以使所述工件(30)回归至所述运行方向。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述纠偏装置包括至少两个纠偏机构(50)，至少两个所述纠偏机构(50)分别设置在所述工件(30)的所述运行方向的两侧。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述纠偏机构(50)包括第一驱动结构(51)、与所述第一驱动结构(51)传动连接的推杆(52)及纠偏件(53)，所述推杆(52)的一端位于所述腔体(10)内，所述推杆(52)可相对所述腔体(10)移动，所述纠偏件(53)与所述推杆(52)连接且位于所述腔体(10)内。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述纠偏机构(50)包括设置于所述推杆(52)上的波纹管(54)，所述波纹管(54)位于所述腔体(10)内部或者位于所述腔体(10)外部。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述纠偏件(53)上朝向所述工件(30)的一侧设置有用于对所述工件(30)纠偏的滚轮(55)。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述检测装置(40)包括光电传感器(41)和视窗结构(42)，所述光电传感器(41)设置于所述视窗结构(42)。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述视窗结构(42)包括视窗件(421)和固定件(422)，所述视窗件(421)通过所述固定件(422)可拆卸地连接于所述腔体(10)。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述传输机构(20)包括传输所述工件(30)的多根输送辊(21)和第二驱动结构(22)，所述输送辊(21)可转动地设置于所述腔体(10)内，所述第二驱动结构(22)与所述输送辊(21)传动连接。

9.根据权利要求1所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述腔体(10)包括主体(11)和盖板(12)，所述主体(11)的上部开设有与其内部连通的开口，所述盖板(12)可拆卸地盖设于所述主体(11)上部的所述开口。