[实用新型]工艺废气输送装置有效

专利信息
申请号: 202022715580.6 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN214094013U 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 黄志平;黄德昇;杨志坚;亓文丽 申请(专利权)人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
主分类号: F17D1/02 分类号: F17D1/02;F17D1/20;F15D1/02
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李宁
地址: 250101 山东省济南市*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 工艺 废气 输送 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种工艺废气输送装置,包括废气输送管,所述废气输送管上至少设置有一圈间隔分布的氮气接入管,且同一圈所述氮气接入管排出的热氮气形成沿顺时针或逆时针方向运动的旋转气流;任意一所述氮气接入管的气体排出方向与所述废气输送管外壁的母线之间均具有大于0°且小于90°的夹角。在热氮气的冲击作用下,废气输送管内将形成旋转向前运动的螺旋状气流,从而使废气输送管的中心位置形成低压区,粉尘等杂质向废气输送管的中心位置聚集并被旋转气流裹挟排出,有效避免粉尘堆积;一些游离至废气输送管内壁位置的粉尘也会被旋转气流冲刷并再次聚集至废气输送管的中心,从而有效避免粉尘在废气排放管中的附着。

技术领域

本实用新型涉及生产工艺改进技术领域,特别涉及一种工艺废气输送装置。

背景技术

产品生产过程中通常需要用到工艺气体,一些情况下,完成相应工序后所排出的工艺气体会形成温度较高且含有粉尘颗粒的工艺废气,这种工艺废气在废气管路中输送时容易遇冷析出水分,粉尘受潮后淤积在废气管路中造成管路堵塞。

热氮辅助系统能够有效解决管路堵塞的问题,热氮辅助系统通常是在废气管路上接入热氮气,氮气的稳定性较高,不容易与其他气体产生化学反应,因而通过热氮气辅助工艺废气的输送一方面可以保证工艺废气不发生化学反应,另一方面还能够为工艺废气补充热量,避免其冷凝析出水分。

如图1和图2所示,图1和图2展示了现有技术中的一种废气管路1与氮气接入点2的位置关系,热氮气的流入方向与工艺废气的流动方向呈90°夹角,该种方式的缺点在于热氮气会形成一个与工艺废气流动方向垂直的气帘,该气帘会形成气体挤压的效果,这会显著影响工艺废气的流动性,工艺废气的流速下降,粉尘容易附着在废气管路1的内壁上而影响工艺废气的排气效率;若热氮气接入点2靠近废气管路1的转弯位置,还会造成粉尘在转弯位置堆积,进而造成废气管路1堵塞。

如图3和图4所示,图3和图4展示了现有技术中的另外一种废气管路1与氮气接入点2的位置关系,热氮气的流入方向与工艺废气的流动方向呈45°左右的夹角,然而该种方式依然会在工艺废气的流动方向上形成一个倾斜的气帘,该气帘同样会形成气体挤压的效果,并显著影响工艺废气的流动性,工艺废气的流速下降,粉尘容易附着在废气管路1的内壁上而影响工艺废气的排气效率;若热氮气接入点2靠近废气管路1的转弯位置,还会造成粉尘在转弯位置堆积,进而造成废气管路1堵塞。

因此,如何既能够保证工艺废气的顺利排放,又能够有效避免粉尘在废气管路中附着和堆积是目前本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种工艺废气输送装置,以便既能够保证工艺废气的顺利排放,又能够有效避免粉尘在废气管路中附着和堆积。

为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种工艺废气输送装置,包括废气输送管,所述废气输送管上至少设置有一圈间隔分布的氮气接入管,且同一圈所述氮气接入管排出的热氮气形成沿顺时针或逆时针方向运动的旋转气流;任意一所述氮气接入管的气体排出方向与所述废气输送管外壁的母线之间均具有大于0°且小于90°的夹角。

优选地,每一圈所述氮气接入管至少包括两个。

优选地,任意相邻两个所述氮气接入管之间所夹的圆心角均相等。

优选地,每一根所述氮气接入管与所述废气输送管外壁的母线之间的夹角均相等。

优选地,每一根所述氮气接入管与所述废气输送管外壁的母线之间的夹角均为α,其中,45°≤α≤60°。

优选的,所述废气输送管上设置有多圈所述氮气接入管,任意相邻两圈所述氮气接入管在所述废气输送管的轴线方向上具有间隔的分布。

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