[实用新型]一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件

权利要求书

1.一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件，其特征在于：包括机身（1），所述机身（1）内部固定连接有工作台（6），所述机身（1）外侧固定连接有固定座（7），所述机身（1）下表面固定连接有支撑脚（2），所述机身（1）外侧设置有防护机构，所述防护机构内部设置有清灰机构，所述防护机构内部设置有卡接机构。

2.根据权利要求1所述的一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件，其特征在于：所述防护机构包括防护门（3），所述防护门（3）外侧转动连接有铰链（21），所述铰链（21）远离防护门（3）的一端转动连接在机身（1）外侧，所述防护门（3）内壁固定连接有玻璃窗（4），所述防护门（3）下表面固定连接有密封垫（26），所述防护门（3）外侧固定连接有前支架（19），所述机身（1）上表面固定连接有后支架（23），所述前支架（19）与后支架（23）之间转动连接有助力液压缸（22）。

3.根据权利要求2所述的一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件，其特征在于：所述清灰机构包括电机（8）、鼓风机（9），所述电机（8）、鼓风机（9）均固定连接在固定座（7）上表面，所述电机（8）输出端与鼓风机（9）转动连接，所述鼓风机（9）上表面固定连接有第一气管（10），所述第一气管（10）远离鼓风机（9）的一端固定连接在防护门（3）的外侧，所述防护门（3）内壁固定连接有第一接头（20），所述第一气管（10）通过第一接头（20）与防护门（3）固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件，其特征在于：所述防护门（3）内部固定连接有第二接头（17），所述防护门（3）内部开设有通气孔（24），所述通气孔（24）与第二接头（17）贯通，所述第一接头（20）与第二接头（17）之间固定连接有第二气管（18）。

5.根据权利要求4所述的一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件，其特征在于：所述卡接机构包括门把手外壳（5），所述门把手外壳（5）固定连接在防护门（3）外壁，所述门把手外壳（5）内部滑动连接有拉手（12），所述拉手（12）与门把手外壳（5）之间设置有弹簧（11），所述拉手（12）上表面搭接有钢丝绳（13）。

6.根据权利要求5所述的一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件，其特征在于：所述钢丝绳（13）两端分别固定连接有第一挂钩（16）、第二挂钩（25），所述第一挂钩（16）、第二挂钩（25）均转动连接在防护门（3）内部，所述第一挂钩（16）、第二挂钩（25）之间设置有拉簧（14），所述机身（1）内部固定连接有搭扣（15）。