[实用新型]一种可快速安装拆卸隔板的全自动立式镀膜机

说明书

本实用新型提供了一种可快速安装拆卸隔板的全自动立式镀膜机，包括镀膜机、真空室顶壁和隔板，所述真空室顶壁的下方设有滑槽，所述滑槽内固定连接限位机构，所述真空室顶壁上对称固定连接连接组件，本实用新型设计科学，结构简洁实用，通过限位机构对难以进行安装的隔板进行限位，使得隔板上的螺孔正对连接组件，只需将连接组件进行组装拆卸就可以实现隔板的安装拆卸。

技术领域

本实用新型主要涉及镀膜机技术领域，具体为一种可快速安装拆卸隔板的全自动立式镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD 激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的镀膜机在对重要组成部件隔板的安装时通常采用将隔板抬起，慢慢去调节隔板上螺孔和真空室顶壁上的连接件的相对位置，最后将隔板和真空室顶壁相连接。

但是现有的对隔板的安装方式比较麻烦，尤其是对于大的隔板更加不易调节安装螺孔和真空室顶壁上连接件的相对位置。

实用新型内容

本实用新型主要提供了一种可快速安装拆卸隔板的全自动立式镀膜机，用以解决上述背景技术中提出的技术问题。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：

一种可快速安装拆卸隔板的全自动立式镀膜机，包括镀膜机、真空室顶壁和隔板，所述真空室顶壁的下方设有滑槽，所述滑槽内固定连接限位机构，所述真空室顶壁上对称固定连接连接组件。

进一步的，所述限位机构包括两个对称的限位单元，所述限位单元包括第一限位槽，所述第一限位槽的底部固定连接多个第二限位槽，所述第二限位槽内均固定连接弹簧，所述弹簧的另一端固定连接移动半球，所述移动半球滑动连接于所述第二限位槽的内壁，所述移动半球的另一侧固定连接多个移动杆，多个所述移动杆的另一侧均固定连接于移动板，所述移动板滑动连接于所述滑槽。

进一步的，所述移动板的下方固定连接导向板，所述导向板呈倾斜设置。

进一步的，所述连接组件包括两个对称的固定单元，所述固定单元的下方设有螺孔，所述螺孔内咬合连接异形螺栓。

进一步的，所述异形螺栓包括螺栓头部和螺杆，所述螺杆的下方固定连接放置杆，所述放置杆上活动连接活动块。

进一步的，所述放置杆的直径小于所述螺杆的直径。

进一步的，所述活动块为中空圆柱体。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过限位机构对难以进行安装的隔板进行限位，使得隔板上的螺孔正对连接组件，只需将连接组件进行组装拆卸就可以实现隔板的安装与拆卸。

以下将结合附图与具体的实施例对本实用新型进行详细的解释说明。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型限位机构结构示意图；

图3为本实用新型A处放大示意图；

图4为本实用新型的异形螺栓示意图；

图5为本实用新型的放置杆结构示意图。

图中：1-镀膜机、2-真空室顶壁、3-隔板、21-滑槽、4-限位机构、41-限位单元、411-第一限位槽、412-第二限位槽、413-弹簧、414-移动半球、415-移动杆、416-移动板、4161-导向板、5-连接组件、51- 固定单元、52-异形螺栓、521-螺栓头部、522-螺杆、523-放置杆、524- 活动块。

具体实施方式