[实用新型]一种散气结构及真空设备

权利要求书

1.一种散气结构，其特征在于，包括：

至少一个固定于真空室(100)的腔体内的散气件，每一所述散气件上开设多个散气孔(11)；所述散气件与真空室(100)的内壁之间形成储气腔(5)，所述储气腔(5)在垂直于内壁方向上的截面形状为多边形；

输气组件，其一端连通所述储气腔(5)，另一端适于连通所述真空室(100)外部的气源。

2.根据权利要求1所述的散气结构，其特征在于，所述储气腔(5)上设置至少两个开口，其一开口连接所述输气组件，另一开口上设置端盖(2)。

3.根据权利要求2所述的散气结构，其特征在于，所述端盖(2)上开设有与所述散气孔(11)相同的散逸孔。

4.根据权利要求2所述的散气结构，其特征在于，所述真空室(100)的内壁上开设连通孔；所述输气组件包括：进气块(3)，固定在所述真空室(100)内，其具有相互连通的进气孔(31)和出气孔(32)；所述进气孔(31)与所述连通孔连通且边缘密封设置，所述进气孔(31)适于连通气源；所述出气孔(32)连通所述储气腔(5)。

5.根据权利要求4所述的散气结构，其特征在于，所述输气组件还包括：连接管(4)，其一端连通所述出气孔(32)，另一端连通所述储气腔(5)。

6.根据权利要求5所述的散气结构，其特征在于，所述连接管(4)的横截面积不大于所述储气腔(5)的横截面积。

7.根据权利要求6所述的散气结构，其特征在于，所述连接管(4)的管径自所述出气孔(32)一侧向所述储气腔(5)侧逐渐扩大。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的散气结构，其特征在于，多个所述散气孔(11)均匀间隔分布在所述散气件上。

9.根据权利要求8所述的散气结构，其特征在于，任一所述散气件为板块，所述板块上开设所述散气孔；所述散气件采用包括铝的材料制成。

10.一种真空设备，其特征在于，包括真空室及权利要求1-9中任一项所述的散气结构；所述散气结构固定在所述真空室内。