[实用新型]一种磁控溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室内设有镀膜辊和位于所述镀膜辊下方的若干个磁控溅射靶，其特征在于：所述镀膜室内还设有清洁机构，所述清洁机构包括毛刷辊、擦拭块、清洁辊和滴液管，所述擦拭块设置在镀膜辊上方并与所述镀膜辊接触，所述擦拭块的一侧设有与所述镀膜辊滚动接触的所述毛刷辊，所述擦拭块的另一侧设有所述清洁辊，所述清洁辊上套设有硅胶粘层，所述清洁辊通过所述硅胶粘层与所述镀膜辊滚动接触，所述滴液管的一端抵靠所述擦拭块以为所述擦拭块补充酒精。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述清洁机构还包括胶纸卷辊，所述胶纸卷辊设于所述清洁辊上方并与所述清洁辊滚动接触，所述胶纸卷辊上套设有粘尘纸卷。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述毛刷辊上设置有多条毛刷，所述毛刷辊通过所述毛刷接触所述镀膜辊。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：还包括用于驱动所述毛刷辊转动的驱动电机，所述毛刷辊的转动方向与所述镀膜辊的转动方向相同。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：还包括设于所述镀膜室内的防护罩，所述清洁机构安装于所述防护罩内。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述防护罩内设有真空吸嘴。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述镀膜室内还设有第一导辊。

8.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：还包括放卷室和收卷室，所述放卷室与所述镀膜室通过第一狭缝连通，所述收卷室与所述镀膜室通过第二狭缝连通。

9.根据权利要求8所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述放卷室内设有放卷辊，所述收卷室内设有收卷辊。

10.根据权利要求9所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述放卷室内和所述收卷室内分别设有第二导辊。