[实用新型]非接触式测量镜片中厚和矢高的装置有效
| 申请号： | 202022689437.4 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN213481285U | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 贾辉;沈栋树;修建鸿;杜文静 | 申请（专利权）人： | 宁波舜宇红外技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人： | 延慧;武丽荣 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 接触 测量 镜片 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种非接触式测量镜片中厚和矢高的装置，包括xy平移台(1)、第一、第二z平移台(2,3)、俯仰平台(4)、转接平台(5)、载物板(6)以及位移计(7)，所述位移计(7)包括同轴设置的第一、第二探头(8,9)，所述载物板(6)位于两探头之间，其特征在于，还包括测微计(10)。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述载物板(6)设置在所述转接平台(5)上，所述转接平台(5)设置在所述xy平移台(1)上；
所述xy平移台(1)设置在所述俯仰平台(4)上，所述俯仰平台(4)设置在所述第二z平移台(3)上；
第一探头(8)设置在所述第一z平移台(2)上。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移计(7)为白光共焦位移计，其中各探头还包括各自的调节模块。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括定心工装(14)，其设置在所述载物板(6)上。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的装置，其特征在于，还包括支承柱(11)，所述第一、第二z平移台(2,3)、第二探头(9)和测微计(10)固定在所述支承柱(11)上。
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