[实用新型]一种多复合层图形化蓝宝石衬底

权利要求书

1.一种多复合层图形化蓝宝石衬底，其特征在于，包括使用AL₂O₃材料制成的衬底（1），所述衬底（1）的顶部铺设有ALN材料制成的薄膜（2），所述薄膜（2）的顶部设有多个经过黄光和刻蚀形成的圆锥体（3），所述圆锥体（3）包括上下分层的SiO₂部（31）和ALN部（32），且所述SiO₂部（31）位于所述ALN部（32）的上方；设光线在薄膜（2）中的波长为λ，所述薄膜（2）的厚度为h，那么所述薄膜（2）的厚度h≥λ/4。

2.根据权利要求1所述的一种多复合层图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述薄膜（2）的顶部设置有N-GaN层（4）。

3.根据权利要求2所述的一种多复合层图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述N-GaN层（4）的顶部设置有源区（5）。

4.根据权利要求3所述的一种多复合层图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述有源区（5）的顶部设置有P-GaN层（6）。

5.根据权利要求2所述的一种多复合层图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述N-GaN层（4）的顶部连接有N型电极（8）。

6.根据权利要求4所述的一种多复合层图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述P-GaN层（6）的顶部连接有P型电极（7）。