[实用新型]一种双对称平行薄膜微恒流阀

权利要求书

1.一种双对称平行薄膜微恒流阀，其特征在于：包括样品入口（1）、样品出口（2）、上控制流道（3）、下控制流道（4）、左控制流道（5）、右控制流道（6）、流体主流道（7）、窄流道（8）、上弹性薄膜（9）、下弹性薄膜（10）、左弹性薄膜（11）以及右弹性薄膜（12）；所述上控制流道（3）、下控制流道（4）、左控制流道（5）、右控制流道（6）和流体主流道（7）的入口均与样品入口（1）相连通；所述上控制流道（3）和下控制流道（4）的末端均封闭；所述窄流道（8）设置在流体主流道（7）的中间；所述流体主流道（7）的出口与样品出口（2）相连通；所述上控制流道（3）和窄流道（8）之间由上弹性薄膜（9）隔开；所述下控制流道（4）和窄流道（8）之间由下弹性薄膜（10）隔开；所述左控制流道（5）、右控制流道（6）、流体主流道（7）和窄流道（8）均分布在同一平面上，且左控制流道（5）的末端和窄流道（8）之间由左弹性薄膜（11）隔开，右控制流道（6）的末端和窄流道（8）之间由右弹性薄膜（12）隔开。

2.根据权利要求1所述的双对称平行薄膜微恒流阀，其特征在于：所述窄流道（8）的截面尺寸小于流体主流道（7）的截面尺寸。

3.根据权利要求1所述的双对称平行薄膜微恒流阀，其特征在于：所述上控制流道（3）、下控制流道（4）、左控制流道（5）和右控制流道（6）的末端宽度均小于等于窄流道（8）的长度，且上控制流道（3）和下控制流道（4）的末端上下对齐且宽度相等，左控制流道（5）和右控制流道（6）的末端左右对齐且宽度相等。

4.根据权利要求1所述的双对称平行薄膜微恒流阀，其特征在于：所述上弹性薄膜（9）和下弹性薄膜（10）上下水平对称；所述左弹性薄膜（11）和右弹性薄膜（12）左右垂直对称。

5.根据权利要求1所述的双对称平行薄膜微恒流阀，其特征在于：所述上弹性薄膜（9）、下弹性薄膜（10）、左弹性薄膜（11）以及右弹性薄膜（12）的厚度均为微米级。

6.根据权利要求1所述的双对称平行薄膜微恒流阀，其特征在于：调控的微流体流量范围为1 nl/min至100 ml/min。