[实用新型]MEMS麦克风及电子产品

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片和ASIC芯片；其特征在于，在所述ASIC芯片的电路中设置有温度感测及控制模块；其中，

所述温度感测及控制模块包括基准电压源、温度补偿电荷泵、补偿单元、缓冲器单元以及放大单元；

所述温度感测及控制模块用于对所述ASIC芯片进行环境温度测量并根据测量的温度对所述ASIC芯片进行参数控制。

2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括与所述温度补偿电荷泵连接的变压装置和振荡装置；其中，

所述振荡装置包括频率生成器和频率选择器；

所述频率生成器用于生成预设范围内的频率，所述频率选择器用于根据当前温度选择与所述当前温度适配的频率；

所述温度补偿电荷泵用于根据所选择的频率控制所述ASIC芯片的输出电压。

3.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，

所述频率生成器包括依次连接的环形振荡器、除频器和多工器。

4.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，

所述补偿单元与所述缓冲器单元连接，所述补偿单元包括并联设置的补偿电容和补偿电感；其中，

所述补偿单元的输出用于控制所述缓冲器单元的等效电阻值。

5.如权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，

所述缓冲器单元包括三极管；其中，

所述三极管包括等效电阻可调的NMOS和PMOS。

6.如权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，

所述放大单元包括与所述三极管的输出端连接的放大器以及连接在所述放大器的输出端和反向输入端之间的可调电阻；其中，

根据所述测量的温度、所述可调电阻以及所述缓冲器单元的等效电阻值控制所述放大器的增益均稳定在预设范围内，以控制所述ASIC芯片的输出电压。

7.如权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，

所述可调电阻包括并联设置的电阻Ra和电阻Rb，所述电阻Ra连接在所述放大器的反向输入端和输出端之间，所述电阻Rb的一端与所述放大器的反向输入端和所述电阻Ra并联，所述电阻Rb的另一端接地。

8.一种电子产品，其特征在于，包括如权利要求1至7任一项所述的MEMS麦克风。