[实用新型]一种真空溅射镀膜用治具

说明书

本申请涉及溅射镀膜的技术领域，尤其是涉及一种真空溅射镀膜用治具，其包括相互配合的上夹板以及下夹板，所述上夹板与所述下夹板之间设置有紧固组件，所述上夹板上设置有用于固定工件的固定组件。本申请具有提高工件镀膜质量的效果。

技术领域

本申请涉及溅射镀膜的技术领域，尤其是涉及一种真空溅射镀膜用治具。

背景技术

真空溅射镀膜的原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向轰击工件表面，使工件近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出工件表面的工艺，在工件表面形成镀层。治具是作为协助控制位置或动作的一种工具，在真空溅射镀膜中一般用作固定工件。

现有中的真空溅射镀膜用治具一般包括两个夹板，两个夹板将工件夹在一起，然后将治具放置在镀膜机上，两个夹板上均会设置有视窗区供镀膜机对工件进行镀膜，但是工件在两个夹板之间容易发生滑移，从而造成镀膜时工件的位置不准确，造成镀膜质量的降低。

实用新型内容

为了提高镀膜质量，本申请提供一种真空溅射镀膜用治具。

本申请提供的一种真空溅射镀膜用治具采用如下的技术方案：

一种真空溅射镀膜用治具，包括相互配合的上夹板以及下夹板，所述上夹板与所述下夹板之间设置有紧固组件，所述上夹板上设置有用于固定工件的固定组件。

通过采用上述技术方案，操作人员将工件放置在上夹板与下夹板之间，使用紧固组件将上夹板与下夹板固定在一起，然后使用固定组件将工件固定在上夹板与下夹板之间，然后操作人员将工件输送到下一工序进行镀膜，而工件由于被固定住，所以工件不易在上夹板与下夹板之间发生滑移，从而提高了镀膜的质量。

优选的，所述固定组件包括沿靠近或远离工件的方向设置于所述上夹板上的多个滑槽、滑移连接于所述滑槽内的夹持块、以及转动设置于所述上夹板上的丝杆，所述夹持块抵接于工件的侧壁，所述丝杆螺纹连接于所述夹持块，所述丝杆用于驱动所述夹持块沿靠近或远离工件。

通过采用上述技术方案，操作人员将工件放置在上夹板与下夹板之间，使用紧固组件将上夹板与下夹板固定在一起，然后转动丝杆，丝杆驱动夹持块往靠近工件的方向移动，直至夹持块抵接于工件的侧边，这时，即可将工件固定住。

优选的，所述夹持块上设置有垫板。

通过采用上述技术方案，垫板能增加与工件的接触面积，从而使得工件能被固定的更加稳定，并且垫板能使工件在镀膜时，工件的侧边不易被镀上膜，提高了工件镀膜的质量。

优选的，所述紧固组件包括转动设置于所述下夹板边沿的多块固定凸块、以及螺纹设置于所述固定凸块上的螺杆，所述螺杆转动抵接于所述上夹板背离所述下夹板的表面。

通过采用上述技术方案，操作人员将上夹板放置在下夹板上后，转动固定凸块，然后拧动螺杆，使螺杆抵接于上夹板背离下夹板的表面，即可使得上夹板与下夹板固定在一起。

优选的，所述螺杆上设置有旋钮。

通过采用上述技术方案，操作人员通过握持住旋钮，即可方便的转动螺杆。

优选的，所述上夹板上设置有多根导向杆，所述下夹板上设置有多个导向槽，多根所述导向杆与多根所述导向槽分别插接配合。

通过采用上述技术方案，操作人员在将上夹板放置在下夹板上时，将多根导向柱插接于多根导向槽上，即可使得上夹板与下夹板之间对准，从而提高了操作的便捷性。

优选的，所述上夹板上设置有把手。

通过采用上述技术方案，操作人员通过握持把手，能方便的拿动上夹板，提高了操作的便捷性。