[实用新型]用于静电吸盘安装的固定装置

权利要求书

1.一种用于静电吸盘安装的固定装置，其特征在于：包括用于固定静电吸盘工件的铝基和陶瓷盘的固定圈(1)，所述固定圈(1)上等距间隔设有多个水平设置的夹紧块(11)和多个用于锁紧夹紧块(11)且与夹紧块(11)相对应的锁紧螺栓(12)，所述夹紧块(11)可朝固定圈(1)的轴心方向移动。

2.根据权利要求1所述的用于静电吸盘安装的固定装置，其特征在于：所述夹紧块(11)的长度大于固定圈(1)的宽度。

3.根据权利要求1或2所述的用于静电吸盘安装的固定装置，其特征在于：所述夹紧块(11)底部的两侧均设有限位凸部(111)，所述固定圈(1)上设有用于供夹紧块(11)移动且与夹紧块(11)相配合的固定槽(13)。

4.根据权利要求3所述的用于静电吸盘安装的固定装置，其特征在于：所述固定槽(13)的顶部呈开口设置。

5.根据权利要求3所述的用于静电吸盘安装的固定装置，其特征在于：所述锁紧螺栓(12)位于固定槽(13)的下方且设于固定圈(1)的外侧，所述锁紧螺栓(12)包括拧紧部(121)，所述拧紧部(121)的最高点高于固定槽(13)的最低点。

6.根据权利要求1所述的用于静电吸盘安装的固定装置，其特征在于：还包括用于放置静电吸盘工件的移动盘(2)，所述移动盘(2)上设有多个上下贯穿的通孔(21)，所述移动盘(2)的顶面边缘处设有多个把手(22)。

7.根据权利要求1所述的用于静电吸盘安装的固定装置，其特征在于：还包括支撑架(3)，所述支撑架(3)包括支撑板(31)和多个设于支撑板(31)底部的支撑柱(32)，所述支撑板(31)上设有用于容纳静电吸盘工件的铝基的容纳腔(311)。