[实用新型]一种蒸镀腔体内冷却结构及蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，具体公开了一种蒸镀腔内体冷却结构及蒸镀装置。蒸镀腔体内冷却结构包括至少一个冷却板，冷却板设置于坩埚与蒸镀盘之间，且冷却板周边与蒸镀腔体的侧壁连接，冷却板上开设有能使坩埚蒸发的物质蒸镀至基片上的通孔。本实用新型提供的蒸镀腔体内冷却结构在蒸镀腔体内设置冷却板，冷却板置于坩埚和蒸镀盘之间，坩埚的热量辐射到冷却板上，冷却板直接带走热量，降低了辐射到基片和蒸镀腔体侧壁上的热量，并且沉积在冷却板上的蒸镀物质和杂质气体会因冷却板温度低而不易脱附，降低了对基片镀膜的影响。此外，基片上的热量辐射传递到冷却板上，使基片周围温度降低，防止基片的有机镀层被破坏。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀腔内体冷却结构及蒸镀装置。

背景技术

有机薄膜电致发光显示器件(OLED)是有机半导体材料在电场作用下发光的一项新兴技术，近年来得到了迅速发展。OLED显示器具有低能耗、环保、超薄、高色彩饱和度、面光源等优点。现如今OLED显示器件主要通过蒸发镀膜的方法制备，在大型蒸镀设备中，金属阳极是通过大型点源蒸发Ag、Mg、Al等金属沉积到基片上去，形成阳极图案。金属的熔点较高，要保持稳定的沉积速率，需要点源的加热温度较高。在真空腔体中，非接触零部件之间的热量传递主要是热辐射，以及金属原子沉积到零部件表面带来的热量。当金属点源温度较高时，辐射到真空腔体及真空腔体内零部件的温度较高，造成零件表面温度升高，材料表面吸附的气体将被释放，同时吸附在零件表面上的金属材料将再次脱附，可能沉积到基片上去，影响膜层质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸镀腔体内冷却结构及蒸镀装置，有效冷却蒸镀腔体内的温度，提高基片蒸镀的质量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种蒸镀腔体内冷却结构，蒸镀腔体内底部设有坩埚，所述蒸镀腔体内顶部设有用于安装基片的蒸镀盘，所述冷却结构包括至少一个冷却板，所述冷却板设置于所述坩埚与所述蒸镀盘之间，且所述冷却板周边与所述蒸镀腔体的侧壁连接，所述冷却板上开设有能使所述坩埚蒸发的物质蒸镀至所述基片上的通孔。

优选地，所述冷却板设有至少两个，且其中一个所述冷却板靠近所述坩埚设置，另一个所述冷却板靠近所述蒸镀盘设置。

优选地，靠近所述蒸镀盘设置的所述冷却板上的所述通孔的孔径大于靠近所述坩埚设置的所述冷却板上的所述通孔的孔径。

优选地，每个所述冷却板均设有进口和出口；

多个所述冷却板串联，其中一个所述冷却板连接冷却介质供给装置；或，

每个所述冷却板分别连接所述冷却介质供给装置。

优选地，所述冷却板内设置有冷却管道，所述冷却管道盘绕设置于所述冷却板内。

优选地，所述冷却板的两侧均可拆卸连接有内衬板。

优选地，所述蒸镀腔体的内侧侧壁均可拆卸连接有内衬板。

优选地，所述冷却板可拆卸设置于所述蒸镀腔体的侧壁上。

优选地，所述冷却板的材质为不锈钢。

一种蒸镀装置，包括蒸镀腔体、设置于所述蒸镀腔体内底部的坩埚、设置于所述蒸镀腔体内顶部用于安装基片的蒸镀盘及设置于所述蒸镀腔体内如上所述的蒸镀腔体内冷却结构。

本实用新型的有益效果：在蒸镀腔体内设置冷却板，冷却板置于坩埚和蒸镀盘之间，坩埚的热量辐射到冷却板上，冷却板直接带走热量，降低了辐射到基片和蒸镀腔体侧壁上的热量，并且沉积在冷却板上的蒸镀物质和杂质气体会因冷却板温度低而不易脱附，降低了对基片镀膜的影响。此外，基片上的热量辐射传递到冷却板上，使基片周围温度降低，防止基片的有机镀层被破坏。

附图说明