[实用新型]一种高能注入机恒温超纯水装置

说明书

本实用新型提供了一种高能注入机恒温超纯水装置，属于高能注入机技术领域。该一种高能注入机恒温超纯水装置包括箱体组件、降温组件和恒温组件，使用时，导入箱体内的高温超纯水在输送水管内经过箱体内部的冷却水冷却，温度下降后的超纯水从输送水管出口落入箱体内，温控器控制加热件对其加热，使超纯水温度产生恒温，加热过程中，超纯水产生水蒸气，水蒸气经过冷凝管，冷凝管经过冷却水降温使冷凝之后的水蒸气以水滴的形式再次落入箱体底部，减少箱体内部压力，该装置中，输送水管配合换热器使进入箱体内的高温超纯水得到有效的降温，恒温过程中产生的蒸汽经过冷凝管收集凝结，减少了恒温装置内的压力，使该恒温效果更加稳定。

技术领域

本实用新型涉及高能注入机技术领域，具体而言，涉及一种高能注入机恒温超纯水装置。

背景技术

高能注入机的离子注入方式就是把掺杂元素的离子加速，使获得很大动能的杂质离子直接进入晶片中的晶格，离子注入后退火激活，离子束流加速后总电压达到350KV，由于电压高，高压区有发热部件如离子源、分析器线圈等要冷却水，冷却水工作温度需要在一定区间恒定。

通常冷却水为超纯水，超纯水在完成冷却工作之后回到恒温装置中时会携带高温并产生蒸汽，影响恒温装置内部恒温稳定，存在影响恒温效果的问题。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种高能注入机恒温超纯水装置，旨在改善影响恒温效果的问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种高能注入机恒温超纯水装置，包括箱体组件、降温组件和恒温组件。

所述箱体组件包括箱体、隔板、进水管、输送水管和排水管，所述隔板固定连接于所述箱体内部，所述进水管固定连通于所述箱体一侧顶部，所述输送水管一端固定连通于所述进水管，所述输送水管远离所述进水管一端固定连通于所述隔板，所述输送水管远离所述进水管一端贯穿所述隔板，所述排水管固定连通于所述箱体远离所述进水管一侧底部，所述降温组件包括机壳、换热器和冷凝管，所述机壳固定连通于所述箱体远离所述进水管一侧，所述换热器固定连接于所述机壳内部，所述换热器输出端分别贯穿于所述箱体一侧和机壳远离所述箱体一侧，所述冷凝管固定连通于所述隔板顶部，所述恒温组件包括加热件和温控器，所述加热件固定连接于所述箱体底部，所述温控器固定连接于所述箱体一侧，所述温控器电性连接于所述加热件。

在本实用新型的一种实施例中，所述桶体一侧设有透明窗，所述箱体顶部设有箱盖，所述箱盖滑动连接于所述箱体顶部，所述箱体于箱盖之间通过固定螺栓固定。

在本实用新型的一种实施例中，所述桶体内设有第一支撑块，所述箱体底部设有夹层，所述加热件固定设置于所述夹层内。

在本实用新型的一种实施例中，所述隔板内开设有蒸汽入口，所述蒸汽入口固定连通于所述冷凝管。

在本实用新型的一种实施例中，所述隔板底部设有挡板，所述挡板一端固定连接于所述隔板底部，所述挡板另一端固定连接于所述输送水管远离所述进水管一端。

在本实用新型的一种实施例中，所述输送水管与所述隔板连接处设有密封圈，所述输送水管与所述挡板连接处上方设有通孔。

在本实用新型的一种实施例中，所述排水管上设有阀门。

在本实用新型的一种实施例中，所述机壳内设有固定平台，所述固定平台固定连接于所述机壳内部，所述换热器固定连接于所述固定平台顶部。

在本实用新型的一种实施例中，所述换热器包括热水进口、热水出口、冷水出口、冷水进口和水泵，所述热水进口和所述冷水出口固定连通于所述箱体一侧，所述热水出口和所述冷水进口固定连通于所述机壳远离所述箱体一侧，所述热水进口与所述热水出口固定连通，所述水泵固定连通与所述热水进口与所述热水出口之间，所述冷水出口和所述冷水进口固定连通。