[实用新型]一种坩埚轴及晶体生长设备

权利要求书

1.一种坩埚轴，其特征在于，包括依次相连的第一轴分段(1)、第二轴分段(2)和第三轴分段(3)，所述第二轴分段(2)与所述第三轴分段(3)可拆卸连接，和/或，所述第一轴分段(1)与所述第二轴分段(2)可拆卸连接，所述第一轴分段(1)用于连接坩埚，所述第二轴分段(2)由隔热材料制成。

2.根据权利要求1所述的坩埚轴，其特征在于，所述第三轴分段(3)上设有冷却液进口、冷却液出口及冷却液通道，所述冷却液进口通过所述冷却液通道与所述冷却液出口连通。

3.根据权利要求2所述的坩埚轴，其特征在于，所述第三轴分段(3)包括由外到内依次套设的外管(31)、导流管(32)和内管(33)，所述内管(33)的上端和下端均与所述外管(31)内壁的密封连接，所述导流管(32)的下端与所述外管(31)的内壁密封连接；

所述外管(31)和所述导流管(32)之间形成第一流道(35)，所述导流管(32)与所述内管(33)之间形成第二流道(36)，所述第一流道(35)与所述冷却液进口连通，所述第二流道(36)与所述冷却液出口连通，所述第一流道(35)与所述第二流道(36)连通形成所述冷却液通道。

4.根据权利要求3所述的坩埚轴，其特征在于，所述导流管(32)上端的外周壁设有多个周向分布的定位块，所述定位块抵接于所述外管(31)的内壁；

或，所述导流管(32)上端的端面设有多个周向分布的定位块，所述定位块抵接于所述外管(31)上与其正对的内壁。

5.根据权利要求3所述的坩埚轴，其特征在于，所述外管(31)上部内壁形成有锥形孔(34)，所述锥形孔(34)沿由上至下的方向呈渐扩设置。

6.根据权利要求3所述的坩埚轴，其特征在于，所述外管(31)的内壁和/或所述导流管(32)的外壁设有螺旋槽，所述螺旋槽的螺纹走向与所述第一流道(35)内的冷却液流向相同。

7.一种晶体生长设备，其特征在于，包括权利要求1至6任一项所述坩埚轴。

8.根据权利要求7所述的晶体生长设备，其特征在于，还包括测温热电偶，所述测温热电偶的下端连接于所述坩埚轴，所述测温热电偶的上端依次穿过所述坩埚轴的内管(33)、所述第二轴分段(2)和所述第一轴分段(1)，并与所述第一轴分段(1)的上端齐平。

9.根据权利要求7所述的晶体生长设备，其特征在于，还包括红外测温仪，所述坩埚轴的下端安装有透光玻璃，所述红外测温仪安装于所述透光玻璃背对所述坩埚轴的一侧，所述红外测温仪正对所述坩埚轴的内管(33)上的通孔设置。

10.根据权利要求7所述的晶体生长设备，其特征在于，还包括炉体(4)，及设于所述炉体(4)内的坩埚，所述坩埚轴的上端伸入所述炉体(4)内，并穿过所述炉体(4)内的保温层连接于所述坩埚，所述第三轴分段(3)内的冷却液通道位于所述保温层背对所述坩埚的一侧。