[实用新型]一种掩膜板框架及掩膜板组件

说明书

本实用新型属于掩膜板技术领域，公开了一种掩膜板框架，用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度，本实用新型还提供了一种掩膜板组件包括掩膜板框架以及支撑于掩膜板框架上的掩膜板，该掩膜板组件能够调整掩膜板的下垂形变，以提升蒸镀图形的精度。

技术领域

本实用新型涉及掩膜板技术领域，尤其涉及一种掩膜板框架及掩膜板组件。

背景技术

目前OLED(Organiclight-EmittingDiode，有机发光二极管)采用真空蒸镀技术制备有机发光层，在器件制备的过程中，有机材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上，为使有机材料按照设计蒸镀到特定的位置上，在基板下方需使用金属掩膜板，通过金属掩膜板上留设的有效开口区域，有机材料能够沉积到背板上面，并形成预设图形，然而，由于金属掩膜板的厚度比较薄，在使用一段时间后，极易发生下垂变形，进而影响蒸镀图形的精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩膜板框架及掩膜板组件，以对掩膜板进行支撑，并能对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，进而提升蒸镀图形的精度。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种掩膜板框架，用于支撑掩膜板，所述掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，所述基座上设置有窗口，所述掩膜板支撑于所述窗口处，所述调整机构滑动设置于所述基座上，并与所述掩膜板相连，每组所述调整机构均包括：

两组拉伸组件，两组所述拉伸组件均滑动设置于所述基座上并位于所述窗口的相对两侧，所述拉伸组件与所述掩膜板的对应侧相连，两组所述拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离所述窗口，以将所述掩膜板拉紧或放松。

该掩膜板框架用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度。

作为优选，每组所述拉伸组件均对应设置有一组调节组件，每组所述调节组件与对应的所述拉伸组件传动连接，每组所述调节组件能够驱动对应的所述拉伸组件沿所述第一方向往复移动。

每组调节组件与对应的拉伸组件传动连接，每组调节组件能够驱动对应的拉伸组件沿第一方向往复移动，使调节组件将掩膜板拉紧或放松，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整。

作为优选，每组所述拉伸组件均包括：

滑动部，滑动设置于所述基座上，并与对应的所述调节组件传动连接；及

连接部，连接于所述滑动部，并与所述掩膜板相连。

拉伸组件通过滑动部滑动设置于基座上，该滑动部与对应的调节组件传动连接，以使调节组件能够驱动对应的拉伸组件沿第一方向往复移动，拉伸组件通过连接部与掩膜板相连，该连接部与滑动部相连，以使调节组件沿第一方向往复移动后，能够对掩膜板进行拉伸，该拉伸组件结构简单，易于制造。

作为优选，每组所述调节组件包括：

齿条，连接于所述滑动部，并沿所述第一方向延伸；

齿轮，转动设置于所述基座内，并与所述齿条啮合连接，所述齿轮转动，以使所述齿条移动，并带动所述拉伸组件沿所述第一方向移动。