[实用新型]一种石英管进出炉装置

说明书

本实用新型公开了一种石英管进出炉装置，包括第一夹持件和第二夹持件；第一夹持件和第二夹持件结构相同、大小相等、且相互对称；第一夹持件从上到下包括依次相接的第一握持部、第一转动连接部和第一夹持部；第二夹持件从上到下包括依次相接的第二握持部、第二转动连接部和第二夹持部；第一转动连接部和第二转动连接部交叉、并通过转轴转动连接在一起；第一夹持部和第二夹持部均为弧形板结构，第一夹持部和第二夹持部相向设置，第一夹持部的轴向和第二夹持部的轴向相互平行，第一夹持部和第二夹持部的横截面均为圆弧形；第一夹持部和第二夹持部的外侧均设有第一弹性层。上述装置操作方便，大大提高了工作效率和安全性。

技术领域

本实用新型涉及一种石英管进出炉装置，属于半导体多晶的合成领域。

背景技术

Ⅲ、Ⅴ族化合物半导体多晶的合成，主要工艺是采用水平合成法，将原料装于石英管中，再将石英管密封后放入特定的加热炉中加热到指定温度，使其发生化合反应，生产化合物半导体多晶。目前石英管由工人戴上高温手套送进或取出加热炉，由于石英管外径较大(90mm以上)，而且与加热炉的内壁缝隙较小约3-5mm，再加上出炉时石英管温度一般在80摄氏度左右，导致操作不方便，效率较低等问题，且存在烫伤风险。

实用新型内容

本实用新型提供一种石英管进出炉装置，以解决石英管进出加热炉存在的操作不便、效率低下、烫手等问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种石英管进出炉装置，包括第一夹持件和第二夹持件；第一夹持件和第二夹持件结构相同、大小相等、且相互对称；第一夹持件从上到下包括依次相接的第一握持部、第一转动连接部和第一夹持部；第二夹持件从上到下包括依次相接的第二握持部、第二转动连接部和第二夹持部；第一转动连接部和第二转动连接部交叉、并通过转轴转动连接在一起；第一夹持部和第二夹持部均为弧形板结构，第一夹持部和第二夹持部相向设置，第一夹持部的轴向和第二夹持部的轴向相互平行，第一夹持部和第二夹持部的横截面均为圆弧形；第一夹持部的外侧和第二夹持部的外侧均设有第一弹性层。

石英管的管帽外侧有一段敞口管结构，使用时，手握将第一、第二握持部，将第一、第二夹持部伸入石英管管帽外侧的敞口管内，然后控制第一握持部和第二握持部的打开程度，使得第一夹持部和第二夹持部外侧的第一弹性层绷住管帽内壁，便可将石英管推进或拖出加热炉，操作方便、轻松，大大提高了工作效率和安全性。

第一夹持部和第二夹持部均为弧形板结构，第一夹持部和第二夹持部相向设置，第一夹持部的轴向和第二夹持部的轴向相互平行，第一夹持部和第二夹持部的横截面均为圆弧形，也即第一夹持部的轴向和第二夹持部的轴向与石英管的轴向是一致的，确保第一夹持部和第二夹持部外侧的第一弹性层能稳定地绷住管帽内壁，形成沿石英管轴向的拖进或拽出。

本申请从上到下的方向，与从顶部到底部的方向一致。

为了方便握持，第一握持部的外侧顶部设有第一C形耳，第二握持部的外侧顶部均设有第二C形耳。第一握持部和第二握持部之间为内侧，反之为外侧。

为了提高使用的舒适性，第一握持部、第一C形耳、第二握持部和第二C形的外侧均设有第二弹性层。

上述第二弹性层为橡胶层或硅胶层。

为了提高装置的使用稳定性，第一握持部、第一转动连接部、第二握持部和第二转动连接部均由金属杆制备而成。

为了进一步提高装置的使用稳定性，第一握持部、第一转动连接部和第一夹持部为一体成型结构；第二握持部、第二转动连接部和第二夹持部为一体成型结构。

为了便于控制，第一握持部和第二握持部平行、且相对设置。

为了提高石英管受力的均匀性和稳定性，第一夹持部和第二夹持部平行、且相对设置。