[实用新型]一种冷却装置及冷却设备有效
| 申请号: | 202022619579.3 | 申请日: | 2020-11-12 |
| 公开(公告)号: | CN213873406U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) |
| 主分类号: | F25D31/00 | 分类号: | F25D31/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 秦亚群;彭一波 |
| 地址: | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 冷却 装置 设备 | ||
本实用新型提供了一种冷却装置,包括位于冷却室的冷却结构,冷却结构包括气盒,气盒内设有冷却水管,且气盒上设有出气部,冷却水管内冷却液用于对气盒内的冷却气体降温,并将冷却后的冷却气体经出气部排出至冷却室,对冷却室内的运输载板及运输载板上的工件进行降温。冷却装置还包括位于冷却室外部的冷却气循环结构,冷却气循环结构的一端与气盒连通,冷却气循环结构的另一端与冷却室连通。冷却气循环结构、气盒、冷却室三者形成冷却气体的闭环循环结构。该冷却装置具有结构简单、冷却效果好、效率高的优点,能够确保工件输出冷却室的工艺质控要求,确保工件的合格率及生产效率。
技术领域
本实用新型涉及冷却设备技术领域,具体为一种冷却装置及冷却设备。
背景技术
在太阳能电池生产线上,电池片在其他腔室内输出时为高温状态,约为200℃左右,需要将其放置在载板(输送板)上并送入真空腔室内进行冷却处理。太阳能电池生产工艺控制中,为确保电池片的转换效率,需要严格限制电池片在真空腔室降温后并输出真空腔室时的温度确保在120℃以下。
目前,通常在真空腔室内配备有冷却器对载板上的电池片进行降温。根据生产工艺要求,在真空腔室内,放置电池片的载板的温度需要降低至100℃以下时,才能保证输出真空腔室时电池片的温度低于120℃。在正常生产过程中,载板在进入真空腔室后需要在20-30s内降低至100℃以下,目前现有冷却器的冷却能力有限,无法满足载板在规定时间内冷却至100℃以下,同时现有的冷却器对载板及电池片进行冷却的均匀性较差,会造成电池片及载板出现开裂及变形的风险,降低了电池片的合格率,严重影响电池片的正常生产。
因此,需要设计一种冷却装置,其能够确被冷却的工件能够均匀且快速的降温,保证工件合格率及生产效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于解决现有的冷却器不能均匀且快速的对进入冷却室内的运输载板及工件降温的问题,提供了一种结构简单、效率高、消耗低的冷却装置及冷却设备,冷却装置能够确保载有工件的运输载板在进入冷却室内能够快速的降温,避免其出现变形的问题,同时,能够确保工件输出冷却室的工艺质控要求,确保工件的合格率及生产效率。
实现实用新型目的的技术方案如下:
本实用新型提供了一种冷却装置,包括位于冷却室内的冷却结构,冷却结构包括气盒,气盒内设有冷却水管,且气盒上设有出气部,冷却水管内冷却液用于对气盒内的冷却气体降温,并将冷却后的冷却气体经出气部排出至冷却室,对冷却内的运输载板及运输载板上的工件降温。
冷却装置还包括位于冷却室外部的冷却气循环结构,冷却气循环结构的一端与气盒连通,冷却气循环结构的另一端与冷却室连通。
冷却气循环结构、气盒、冷却室三者形成冷却气体的闭环循环结构。
冷却装置的工作原理是:首先,冷却气体与气盒内的冷却水管内的冷却液热交换进行降温;其次,冷却后的冷却气体在冷却气循环结构的作用下经出气部排出至冷却室;然后,冷却气体对冷却室内的高温高热的运输载板及运输载板上的工件降温;最后,进行热交换的冷却气体在冷却气循环结构的作用下从冷却室排出并输送至气盒内与冷却水管内的冷却液再次进行热交换,冷却气体经冷却气循环结构在在气盒与冷却室之间不断的循环,对冷却室的壁、运输载板、运输载板上的工件降温。
冷却装置的气盒设置在冷却室内,冷却气体能够以更短的路径直接对冷却室内运输载板及运输载板上的工件进行降温,相比设置在冷却室外具有更好的冷却效果,能够在工艺控制要求的时间范围内达到降温的要求,避免运输载板被破坏从而保证生产的效率,也能够确保工件的质量;同时,冷却气体在冷却气循环结构、气盒、冷却室三者之间形成闭环结构,减少了冷却气体的消耗,并可保证足够的冷却能力。
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