[实用新型]一种原子力显微镜的抗震装置

说明书

本实用新型提供了一种原子力显微镜的抗震装置，属于原子力显微镜配件技术领域。它包括呈圆柱形的底座，所述的底座上设有减震槽，所述的减震槽内设有安装座，所述的安装座中部设有向上凸出的上定位柱，所述的安装座上还设有若干夹紧组件，所述的减震槽内设有减震组件。原子力显微镜放置在安装座上，上定位柱能配合原子力显微镜底部的凹槽能对原子力显微镜进行定位，若干夹紧组件能将原子力显微镜固定在安装座上，减震槽内的减震组件能减少外界传递到安装座以及原子力显微镜处的震动，从而提高检测精度。

技术领域

本实用新型属于原子力显微镜配件技术领域，涉及一种原子力显微镜的抗震装置。

背景技术

原子力显微镜Atomic Force Microscopy，AFM，一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。但现有技术中的原子力显微镜在使用时容易因外界的震动影响检测数据。

为了克服现有技术的不足，人们经过不断探索，提出了各种各样的解决方案，如中国专利公开了一种用于原子力显微镜的简易弹簧悬挂装置[申请号：201820327449.2]，AFM底座通过均匀周向布置在AFM底座上端的柱状拉簧悬挂在架体的上部，AFM底座下端面与架体下端面之间的距离为2-10cm，相邻两柱状拉簧的中心轴线的夹角范围为30-45°；本实用新型完全可以媲美主动式减震台，极大的降低了原子力显微镜的成本，使用方便，提高了仪器的使用稳定性。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述问题，提供一种原子力显微镜的抗震装置。

为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：

一种原子力显微镜的抗震装置，包括呈圆柱形的底座，所述的底座上设有减震槽，所述的减震槽内设有安装座，所述的安装座中部设有向上凸出的上定位柱，所述的安装座上还设有若干夹紧组件，所述的减震槽内设有减震组件。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，所述的减震组件包括若干沿周向设置在安装座底部的定位槽，所述的减震槽底部设有若干与定位槽一一对应的下定位柱，所述的下定位柱插入至定位槽内，且定位槽内还设有弹性件。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，所述的弹性件为一号弹簧，所述的一号弹簧两端分别与下定位柱和定位槽固连。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，所述的减震组件还包括若干沿周向设置的二号弹簧，所述的二号弹簧两端分别与减震槽底部和安装座底部固连。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，若干夹紧组件沿周向设置在安装座上，所述的安装座侧壁上还设有若干安装槽，所述的夹紧组件设置在安装槽内。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，所述的夹紧组件包括设置在安装槽内的夹紧驱动器，所述的夹紧驱动器具有可沿竖直方向升降的输出轴，夹紧驱动器的输出轴端部连有夹紧板。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，所述的夹紧板的截面呈等腰梯形，且所述的夹紧板底部还设有定位杆。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，所述的定位槽两侧还设有两个限位槽，所述的下定位柱两侧还设有两个分别插入至限位槽内的限位块。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，所述的减震槽和安装座的截面均呈圆形。

在上述的一种原子力显微镜的抗震装置中，所述的上定位柱和定位杆的截面均呈圆形。

与现有的技术相比，本实用新型的优点在于：