[实用新型]一种电镜输入气路智能控制系统

说明书

本实用新型涉及电镜辅助系统领域，具体地说是一种电镜输入气路智能控制系统，包括增湿罐、静态混合器、输出气路和多个输入气路，输入气路上设有管道隔膜阀、纯化柱、过滤器、入口压力表、减压器、出口压力表、第一质量流量计、流量计出口逆止阀和气路控制阀，各个输入气路的输出端均与一个中间管路相连，所述中间管路的输出端与静态混合器一侧相连，静态混合器另一侧与输出气路相连，且所述输出气路上设有电磁开关阀、电动调节阀和真空硅，静态混合器下端与排出气路相连，增湿罐设于任一输入气路与静态混合器之间。本实用新型减少占地空间，减小误差，减少调节步骤，节约调节时间，减少成本，可以按预定方案进行通气、冲洗、配比。

技术领域

本实用新型涉及电镜辅助系统领域，具体地说是一种电镜输入气路智能控制系统。

背景技术

随着社会的发展和科技水平的不断提高，各行各业的新产品新材料不断出现，对于材料微观性质、表面性质的研究也越来越深入，作为常用的测试设备，电镜的使用频率也越来越高，并且由于新材料的使用环境测试越来越复杂，电镜测试应用也越来越多样化，同时对电镜的测试精准度要求也越来越严格。现有技术中，进入电镜系统的气体需要经过单一气体组分的纯化精制、单一气路流量、压力精密控制以及单一气路的湿度精密控制，然后再把每一路气体进行预先混合，形成固定比例的气体后再通入电镜内使用。这种方式将每一种气体分别进行控制，步骤繁琐，时间长，且无法做到实时连续变化，气体做成以后也无法变化气体组成，无法做到灵活多变，而且制气成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电镜输入气路智能控制系统，减少占地空间，减小误差，减少调节步骤，节约调节时间，减少成本，可以按预定方案进行通气、冲洗、配比。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种电镜输入气路智能控制系统，包括增湿罐、静态混合器、输出气路和多个输入气路，其中所述输入气路上沿着传输方向依次设有管道隔膜阀、纯化柱、过滤器、入口压力表、减压器、出口压力表、第一质量流量计、流量计出口逆止阀和气路控制阀，各个输入气路的输出端均与一个中间管路相连，所述中间管路的输出端与所述静态混合器一侧相连，所述静态混合器另一侧与所述输出气路相连，且所述输出气路上依次设有电磁开关阀、电动调节阀和真空硅，所述静态混合器下端与一个排出气路相连，所述增湿罐通过第一管路与任一输入气路相连且连接点位于流量计出口逆止阀和气路控制阀之间，所述增湿罐通过第二管路与所述静态混合器相连，所述第一管路和第二管路均设有控制阀。

所述排出气路上设有第二质量流量计。

所述排出气路与色谱分析仪器相连。

所述输出气路的输出端设有一个真空气路，且所述真空气路与输出气路的连接点位于电动调节阀和真空硅之间。

本实用新型的优点与积极效果为：

1、本实用新型设有纯化柱，可以去除CO、H2O、CO2、H2、O2等气体微量杂质，使气体的纯度更高，气体杂质对观测物品结果的干扰更低。

2、本实用新型开阀即用，按照所需的浓度进行流量设置，经过简单的流通混合即可达到实验所需的比例浓度，气体混合浓度可以达到0.1％，操作简单方便，气体比例调节响应迅速。

3、本实用新型精度高且自动化程度高，减少多个步骤人为产生的误差，系统采用高精度压力表、质量流量计等元件，以电信号代替了人工手动调节的方式，可以同时对多路进行控制指令传达，同时对多路气体进行调节，可以编辑多条指令进行程序控制在同一时刻下达传输，避免人为手动调节误差、人为调节时间差等误差造成的实验影响。

4、本实用新型效率高，避免多步骤操作带来的操作时间长以及有可能带来的人为失误。

5、本实用新型系统稳定快，组成改变后短时间内(15S内)气体组成即可稳定，可以更快速的投入使用。