[实用新型]一种晶体生长坩埚托有效
| 申请号: | 202022597711.5 | 申请日: | 2020-11-11 |
| 公开(公告)号: | CN214193528U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
| 发明(设计)人: | 罗福敏;胡昌勇;李勇 | 申请(专利权)人: | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 张晨 |
| 地址: | 404040 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 晶体生长 坩埚 | ||
1.一种晶体生长坩埚托,用于晶体生长坩埚,所述晶体生长坩埚包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽,所述石英坩埚包括石英坩埚小嘴,所述PBN坩埚和石英帽位于石英坩埚内,其特征在于:所述坩埚托包括石英管,所述石英管一侧的内部设置有石英棉,所述石英管另一侧的内部设置有保温棉,所述石英棉内设置有敞口的倒锥形槽,所述保温棉内设置有通槽,所述通槽与倒锥形槽连通,所述通槽内设置有石英棒,所述石英棒的一端伸出保温棉,所述石英棒另一端的端部至锥形槽之间的通槽形成籽晶腔。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长坩埚托,其特征在于:所述通槽为圆形通槽,所述圆形通槽的内径为石英坩埚小嘴外径的1.1-1.3倍。
3.根据权利要求2所述的一种晶体生长坩埚托,其特征在于:所述籽晶腔的高度比石英坩埚小嘴的高度大2-5mm。
4.根据权利要求3所述的一种晶体生长坩埚托,其特征在于:所述石英棒为高纯石英棒,所述石英管为高纯石英管。
5.根据权利要求4所述的一种晶体生长坩埚托,其特征在于:所述石英管的外径大于等于石英坩埚的外径。
6.根据权利要求5所述的一种晶体生长坩埚托,其特征在于:所述保温棉为多孔硅酸铝保温棉。
7.根据权利要求6所述的一种晶体生长坩埚托,其特征在于所述石英棉为高纯石英纤维。
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