[实用新型]一种复合型多功能双面卷绕镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，包括真空容器，真空容器内设有收放卷室，第一镀膜机构，第二镀膜机构；第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊、第二导辊、收卷辊。本实用新型实现了磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的复合镀膜功能以及薄膜基材连续双面镀膜的功能，提高了镀膜的质量和生产效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种复合型多功能双面卷绕镀膜机。

背景技术

目前，对柔性材料的镀膜一般是采用蒸发镀膜或溅射镀膜等单一方式进行单面镀膜。蒸发镀膜是在真空状态下对镀膜材料加热气化而进行沉积成膜，镀膜速度快，效率高，但是制程温度高、良率低，镀膜的均匀性和结合力差。溅射镀膜是通过辉光放电离化气体轰击靶材溅射出材料粒子而形成膜层，镀膜稳定性好，均匀度好，膜层致密，但镀膜效率偏慢，产能不高，不能满足高效生产的要求。采用单一的镀膜方式和单面镀膜的方式，不利于提高镀膜的质量和生产效率。

实用新型内容

针对现有技术中存在的技术问题，本实用新型的目的是：提供一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，能够实现磁控溅射镀膜和蒸发镀膜相结合进行镀膜，并能实现薄膜基材连续双面镀膜，提高镀膜的质量和生产效率。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，包括真空容器，真空容器内设有用于卷绕薄膜基材的收放卷室，用于对薄膜基材一面进行镀膜的第一镀膜机构，用于对薄膜基材另一面进行镀膜的第二镀膜机构；第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊、第二导辊、收卷辊，溅射镀膜区内均设有磁控靶，蒸发镀膜区内设有蒸发源。

进一步的，第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向依次设置有第一溅射镀膜区、第一蒸发镀膜区、第二溅射镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向依次设置有第三溅射镀膜区、第二蒸发镀膜区、第四溅射镀膜区。

进一步的，收放卷室和第一溅射镀膜区之间、第一溅射镀膜区和第一蒸发镀膜区之间、第一蒸发镀膜区和第二溅射镀膜区之间、第二溅射镀膜区和收放卷室之间、收放卷室和第三溅射镀膜区之间、第三溅射镀膜区和第二蒸发镀膜区之间、第二蒸发镀膜区和第四溅射镀膜区之间、第四溅射镀膜区和收放卷室之间均设置有分区隔气装置，分区隔气装置与第一镀膜辊和第二镀膜辊之间均留有供薄膜基材通过的间隙。

进一步的，收放卷室、第一溅射镀膜区、第一蒸发镀膜区、第二溅射镀膜区、第三溅射镀膜区、第二蒸发镀膜区、第四溅射镀膜区上均设有真空抽气机组。

进一步的，真空容器上设有真空测量系统。

进一步的，第一蒸发镀膜区和第二蒸发镀膜区的工作真空度为 9×10^-2Pa-1×10^-3Pa。

进一步的，第一溅射镀膜区、第二溅射镀膜区、第三溅射镀膜区和第四溅射镀膜区的工作真空度为1×10^-1Pa-1Pa。

进一步的，蒸发源为电阻加热蒸发源、感应加热蒸发源、电子束加热蒸发源或条状线性蒸发源。

进一步的，磁控靶为平面磁控靶或圆柱磁控靶。

进一步的，真空容器的形状为方形、圆筒形或者其他任意形状。