[实用新型]一种晶体生长加热系统有效
| 申请号： | 202022594548.7 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN213624478U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 夏钰坤;夏宗仁;曹义育;曹远虎;程红鹏;张婷;夏文英 | 申请（专利权）人： | 江西匀晶光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 332000 江西省九*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 加热 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体生长加热系统，包括箱体（1），其特征在于，所述箱体（1）内设置有坩埚（2），所述坩埚（2）的底部和顶部分别设置有进风管（3）和出风管（4），所述进风管（3）穿过所述箱体（1）的内壁并连接有加热器（5）的一端，所述出风管（4）穿过所述箱体（1）的内壁并连接所述加热器（5）的另一端。
2.根据权利要求1所述的晶体生长加热系统，其特征在于，所述箱体（1）的顶部连接有氦气瓶（6）。
3.根据权利要求1所述的晶体生长加热系统，其特征在于，所述箱体（1）的底部连接有排气管（7）。
4.根据权利要求1所述的晶体生长加热系统，其特征在于，所述坩埚（2）上设置有温度传感器（8）。
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