[实用新型]一种真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202022587112.5 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN213680875U 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 因福明;沈杰 申请(专利权)人: 昆山福钻新材料科技有限公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;B08B1/02;B08B13/00
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董成
地址: 215300 江苏省苏州市昆*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 设备
【说明书】:

实用新型涉及等离子镀膜设备技术领域,具体为一种真空镀膜设备,包括壳体,所述壳体的顶面固定有支撑架,所述支撑架的中部活动连接有毛刷辊,所述毛刷辊的前端固定套接有电机一,所述毛刷辊的前后两端均活动连接有定位板,所述支撑架的顶端固定安装有安装架,所述安装架的顶面固定安装有水箱,所述水箱的底端固定安装有喷头,所述壳体的顶面固定安装有吊架,所述吊架顶端的底面固定安装有弹簧,所述弹簧的底端固定安装有夹板,所述夹板的底端活动连接有吸水辊,本实用新型保证了镀膜的牢固,提高了装置的生产质量,增加了装置的使用范围,增加了装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及等离子镀膜设备技术领域,具体为一种真空镀膜设备。

背景技术

利用电子回旋共振微波等离子体镀膜时,是将反应气体由反应室上方通入,再由微波产生器产生微波,经导波管导入反应室,微波在反应室内的待镀膜基材上方形成驻波激发反应气体产生等离子体,同时在反应室外围放置两组电磁铁,电磁铁可使电子回旋,进一步提高等离子体生成的效率,从而使得等离子状态的反应气体在待镀膜基材上生成膜结构。

现有的镀膜装置在进行镀膜时,大多直接将镀膜工件送入镀膜室内进行镀膜,但工件在运输时,可能会导致工件的表面粘附有少量的灰尘,在进行镀膜时,灰尘可能会对导致镀膜的不牢固,降低了装置的生产质量。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种真空镀膜设备,具备保证了镀膜的牢固,提高了装置的生产质量的优点,解决了上述背景技术中所提出的问题。

本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜设备,包括壳体,所述壳体的顶面固定有支撑架,所述支撑架的中部活动连接有毛刷辊,所述毛刷辊的前端固定套接有电机一,所述毛刷辊的前后两端均活动连接有定位板,所述支撑架的顶端固定安装有安装架,所述安装架的顶面固定安装有水箱,所述水箱的底端固定安装有喷头,所述壳体的顶面固定安装有吊架,所述吊架顶端的底面固定安装有弹簧,所述弹簧的底端固定安装有夹板,所述夹板的底端活动连接有吸水辊。

精选的,所述定位板的顶面活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的顶端固定安装有带轮,所述带轮的表面传动连接有皮带。

精选的,所述壳体内腔的左右两端均活动连接有传动辊,所述传动辊的表面传动连接有传送带,所述壳体顶端的右侧固定安装有镀膜室,所述壳体的前侧面固定安装有电机二。

精选的,所述喷头位于毛刷辊的正上方,所述喷头位于皮带的中部,所述喷头不与皮带接触。

精选的,所述电机一的后侧面固定安装在定位板的前侧面上,所述定位板位于支撑架远离壳体中心的一侧,所述吸水辊位于毛刷辊的右侧,所述吸水辊位于镀膜室的左侧。

精选的,所述定位板的顶端啮合在支撑架顶端的中部,所述带轮位于支撑架的上方,所述带轮共有两个,两个所述带轮中位于壳体前端的一个带轮顶面固定安装有六棱柱。

与现有技术对比,本实用新型具备以下有益效果:

1、本实用新型通过喷头将水箱内的水喷洒在毛刷辊的顶端,电机一带动毛刷辊转动,毛刷辊在转动时与工件需要镀膜的一面接触,从而对工件的表面进行清扫,当工件运输到吸水辊的下方时,工件会将吸水辊向上顶起,随着工件的右移,吸水辊会在工件的表面进行滚动,对工件表面的水渍进行吸附清洁,保证了工件位于镀膜室下方时,镀膜的一面保持干净,保证了镀膜的牢固,提高了装置的生产质量。

2、本实用新型通过转动带轮顶端的六棱柱,使得带轮进行转动,皮带传动连接两个带轮,使得两个带轮可以带动定位板上下移动,从而可以调节毛刷辊与传送带顶面之间的距离,从而使毛刷辊可以对不同厚度的工件进行清洁,增加了装置的使用范围,增加了装置的实用性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型结构毛刷辊爆炸连接示意图;

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