[实用新型]二截式过滤器

说明书

本实用新型提供一种二截式过滤器，包括本体、多个过滤篮以及多个盖体夹固结构。每个过滤篮分别设置于本体之内，过滤篮包括滤篮本体以及提把，提把连接相对应的滤篮本体。盖体夹固结构用以固定相对应的过滤篮，盖体夹固结构分别包括盖体、压迫结构、快拆式夹具以及锁固元件。压迫结构设置于盖体之内，且压迫结构用以压制相对应的提把。快拆式夹具包括第一环体以及第二环体，第一环体与第二环体分别夹固盖体的外侧，且凭借锁固元件以锁固第一环体与第二环体。

技术领域

本实用新型涉及一种二截式过滤器。

背景技术

晶圆在储槽中浸泡，然后经由泵浦循环管路循环，过程中会经过大量的片状残留物(含金属的光阻剥离物)。而这些残留物除了会影响产品，也会对泵浦循环管路造成损伤，因此要在泵浦循环管路中增加过滤器。

现有技术中，有利用在泵浦前过滤盒加装滤篮，来避免金属掀离(Metal lift-off)制程中产生大量含金属的光阻剥离物对于泵浦使用寿命与产品合格率的影响。

然而，此过滤盒是由主体、上盖以及滤篮组成，滤篮放置于主体之内，并凭借上盖固定于主体，由于为了维持气密，上盖需要多颗螺丝固定，如此避免高温高压的溶剂所造成渗透，进而导致漏液的问题。此外，组装过程中需要垫片，由于垫片寿命低，导致每次拆装均需要更换新的一批垫片。

另外，由于目前过滤篮的过滤面积小，导致残留物容易堵塞，故需要时常维修，导致生产维修(Productive Maintenance，PM)的周期短，且目前滤篮采用单一孔径的设计，无法弹性运用各式不同的制程残留物。

实用新型内容

本实用新型提供一种二截式过滤器。其便于拆装维护，且可具有多种滤篮来因应各种不同制程残留物的尺寸。

本实用新型的一实施例提出一种二截式过滤器，包括一本体、多个过滤篮以及多个盖体夹固结构。各过滤篮分别设置于本体之内，各过滤篮包括一滤篮本体以及一提把，各提把连接相对应的滤篮本体。盖体夹固结构用以固定相对应的过滤篮，各盖体夹固结构分别包括一盖体、一压迫结构、一快拆式夹具以及一锁固元件。各压迫结构设置于盖体之内，且各压迫结构用以压制相对应的提把。快拆式夹具包括一第一环体以及一第二环体，第一环体与第二环体分别夹固盖体的外侧，且凭借锁固元件以锁固第一环体与第二环体。

在本实用新型的一实施例中，上述快拆式夹具包括一枢接件，第一环体的一第一枢接端与第二环体的一第二枢接端分别枢设于枢接件，使第一环体与第二环体分别以枢接件为轴心旋转。第一环体与第二环体分别夹固盖体的外侧时，锁固元件穿设第一环体的一第一固定端以及第二环体的一第二固定端，以固定第一环体与第二环体。

在本实用新型的一实施例中，上述本体包括多个容置部，各容置部包括一容置槽以及一组装部。各容置槽连通于本体之内，各容置槽用以供相对应的过滤篮容置，且各容置槽连接相对应的组装部。各组装部设置于本体的上。各盖体包括一凸出部，各凸出部对应相对应的组装部。第一环体与第二环体分别包括一夹持缺口，夹持缺口固持于各凸出部与相对应的组装部。

在本实用新型的一实施例中，上述各凸出部与相对应的组装部共构成一第一倾斜结构。夹持缺口内具有一第二倾斜结构，第一倾斜结构与第二倾斜结构相配合。

在本实用新型的一实施例中，上述各盖体夹固结构包括一垫片，各垫片设置在各凸出部与相对应的组装部之间。

在本实用新型的一实施例中，上述各压迫结构包括多个弹性柱以及一圆盘。各弹性柱的一端固定于盖体的内壁，各弹性柱的另一端固定于圆盘，圆盘压制提把，以固定滤篮本体的位置。

在本实用新型的一实施例中，上述本体内包括一上腔体以及与上腔体连通的一下腔体。各滤篮本体设置于下腔体，各提把位于上腔体内。

在本实用新型的一实施例中，上述本体内包括多个横隔板，凭借各横隔板以将本体区分成上腔体以及下腔体。