[实用新型]一种离子注入机用放电室

权利要求书

1.一种离子注入机用放电室，包括箱体（1），其特征在于，所述箱体（1）的顶端固定设有顶箱（2），所述顶箱（2）的一侧与进风管（3）的外壁穿插连接，所述进风管（3）的一端与热风机（4）的进风口连通，所述热风机（4）的出风口与出风管（5）的一端连通，所述热风机（4）的底端固定设置在顶箱（2）内部的一侧，所述顶箱（2）内部的另一侧开设有多个第一通孔（7），所述顶箱（2）内部的顶端固定设有风扇（6）。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用放电室，其特征在于：所述箱体（1）内部底端的两侧均开设有开槽，两个开槽分别与两个移动块（8）的外壁穿插连接，两个所述移动块（8）的底端分别固定设有两个弹簧（9），两个所述弹簧（9）的底端分别固定设置在开槽的底端，两个所述移动块（8）的一侧分别转动设有两个卡块（10），两个所述卡块（10）的外壁分别和两个通槽穿插连接，两个所述卡块（10）分别和两个卡槽（11）卡合连接，两个所述卡槽（11）分别开设在放置板（12）顶端的两个边侧。

3.根据权利要求2所述的一种离子注入机用放电室，其特征在于：所述箱体（1）内部底端的中部开设有放置槽（13），所述放置槽（13）的两侧均固定设有两个固定块（14），两个所述固定块（14）的顶端分别和放置板（12）底端的两侧接触。

4.根据权利要求2所述的一种离子注入机用放电室，其特征在于：所述放置板（12）顶端的两侧开设有多个第二通孔（15），所述放置板（12）顶端的中部固定设有握杆（16）。

5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用放电室，其特征在于：所述箱体（1）的一侧转动设有四个箱门（18），四个所述箱门（18）的一侧分别固定设有四个拉手（19），所述箱体（1）的一边侧开设有通风口（17）。

6.根据权利要求1所述的一种离子注入机用放电室，其特征在于：所述箱体（1）的另一边侧固定设有控制面板，所述控制面板的表面固定设有热风机开关和风扇开关，所述热风机（4）和风扇（6）分别通过热风机开关和风扇开关与外接电源电性连接。