[实用新型]一种防止放电打火的玻璃基板镀膜装载车

说明书

本实用新型涉及玻璃加工技术领域，公开了一种防止放电打火的玻璃基板镀膜装载车，包括框架，框架底部安装有滚轮，框架上设有若干装载位，所述装载位的上方安装有上陶瓷夹具，上陶瓷夹具下方开设有上卡槽，装载位的下方安装有下陶瓷夹具，下陶瓷夹具上方开设有下卡槽，所述上陶瓷夹具和下陶瓷夹具的前方均安装有挡块，所述挡块完全覆盖上陶瓷夹具和下陶瓷夹具。本实用新型的目的在于提供一种能够防止放电打火的玻璃基板镀膜装载车，用于解决玻璃基板镀膜装载车在经过镀膜等离子体区域时容易因电势差过大而导致出现异常放电打火的问题。

技术领域

本实用新型涉及玻璃加工技术领域，特别是涉及一种防止放电打火的玻璃基板镀膜装载车。

背景技术

在镀金属或ITO等导电膜过程中,由于不导电的TFT玻璃镀膜基板和接地导电的镀膜小车,在经过镀膜等离子体区域时,存在很高的电势差,极易在接触的卡夹的位置异常放电打火,导致昂贵的TFT玻璃基板破裂报废。破裂的TFT玻璃基板掉在镀膜腔体内，严重的会直接导致后面的TFT玻璃基板全部刮伤，甚至破裂。轻微的也会飘落到绝缘块上，可能使之失效，引起短路，烧毁绝缘块，同时引起腔体漏气，使生产无法继续进行。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述问题，提供一种防止放电打火的玻璃基板镀膜装载车，用于避免玻璃基板镀膜装载车在经过镀膜等离子体区域时容易因电势差过大而导致出现异常放电打火。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种防止放电打火的玻璃基板镀膜装载车，包括框架，框架底部安装有滚轮，框架上设有若干装载位，所述装载位的上方安装有上陶瓷夹具，上陶瓷夹具下方开设有上卡槽，装载位的下方安装有下陶瓷夹具，下陶瓷夹具上方开设有下卡槽，所述上陶瓷夹具和下陶瓷夹具的前方均安装有挡块，所述挡块完全覆盖上陶瓷夹具和下陶瓷夹具。

上述的玻璃基板镀膜装载车，需要镀膜的玻璃基板安装在上卡槽和下卡槽内，利用上陶瓷夹具和下陶瓷夹具绝缘特性使玻璃基板与玻璃基板镀膜装载车之间进行绝缘隔离，既使两者之间存在很高的电势差，也不会形成放电打火，上陶瓷夹具和下陶瓷夹具前方的挡块可以防止镀膜过程中导电物质溅射到上陶瓷夹具和下陶瓷夹具上，导致上陶瓷夹具和下陶瓷夹具的绝缘性失效。

进一步的，所述上陶瓷夹具和下陶瓷夹具的数量各为两个，所述上陶瓷夹具的安装位置靠近装载位左右侧面，其作用在于：镀膜过程中玻璃基板左右上角发生变形折弯。

进一步的，所述上陶瓷夹具和下陶瓷夹具的后方均安装有挡块，其作用在于：使玻璃基板镀膜装载车两侧都可进行镀膜，降低玻璃基板装载难度。

结合以上技术方案，与现有技术相比，本实用新型所提供的玻璃基板镀膜装载车，其有益效果是：

本实用新型所提供的玻璃基板镀膜装载车，能够通过上陶瓷夹具和下陶瓷夹具使TFT镀膜基板和玻璃基板镀膜装载车之间彻底绝缘，既使两者之间存在很高的电势差，也不会形成放电打火，同时能够通过挡块防止镀膜过程中导电物质溅射到陶瓷卡具上去，导致陶瓷卡具的绝缘性失效。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种防止放电打火的玻璃基板镀膜装载车的结构示意图。

图2为本实用新型所述的上陶瓷夹具和下陶瓷夹具的安装位置示意图。

其中，1-框架，2-滚轮，3-装载位，4-上陶瓷夹具，41-上卡槽，5-下陶瓷夹具，51-下卡槽，6-挡块，7-玻璃基板。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术特征和所实现的目的和效果，以下结合附图做进一步的描述: