[实用新型]一种流量可准确控制的氮化炉

说明书

本实用新型涉及一种流量可准确控制的氮化炉，其中包括手动切断阀、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀、设置在手动切断阀之后、远传式氮气流量计设置在气动调节阀之后、PID调节系统、将气动调节阀和远传流量计连接起来、三通管件、设置在远传流量计之后、最后与氮化炉相连、所有的手动切断阀、气动调节阀、远传流量计、三通管件、炉体通过塑料软管相连接。本实用新型结构简单、流量精度高、保证了氮化硅的氮气通入量始终处于设定值内。

技术领域

本实用新型属于氮化烧结装置设备领域，具体涉及一种流量可准确控制的氮化炉。

背景技术

高纯氮化硅粉体主要用在光伏产业中作为脱模剂来使用，对于高纯氮化硅，首先要求是纯度高，杂质含量低，这就需要在制造中每个过程均保持稳定，因此对氮化反应过程中的流量控制显得尤为重要。现在的真空氮化烧结炉所采用的为手动调节浮子流量计，波动性差，无法对流量进行一个随时准确的调整，对氮化反应产生一定影响，为此提出了一种流量可准确控制的氮化炉。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种结构简单、操作方便、能随时并准确控制氮气通入量的氮化炉

本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是：一种流量可准确控制的氮化炉，其中包括手动切断阀、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀、设置在手动切断阀之后、远传式氮气流量计设置在气动调节阀之后、PID调节系统、将气动调节阀和远传流量计连接起来、三通管件、设置在远传流量计之后、最后与氮化炉相连、所有的手动切断阀、气动调节阀、远传流量计、三通管件、炉体通过塑料软管相连接。

其中，手动切断阀设定在氮气路径的最前端，决定了氮气的开关。

其中，PID调节系统、将气动调节阀和远传流量计连接起来。

其中， PID调节系统通过远传流量计的输出值与给定SP值来控制气动调节阀的开度。

其中PID调节系统是利用比例、微分、积分计算出控制量进行控制，以达到流量的随时调整。

附图说明

图 1 本实用新型结构示意图。

图中，1塑料软管、2手动切断阀、3气动调节阀、4远传流量计、5三通管件、6炉体、7PID调节系统。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图和具体实施方式，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本文实例包括手动切断阀2、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀3、设置在手动切断阀2之后、远传式氮气流量计4设置在气动调节阀3之后、PID调节系统7、将气动调节阀3和远传流量计4连接起来、三通管件5、设置在远传流量计之后、最后与氮化炉6相连、所有的手动切断阀2、气动调节阀3、远传流量计4、三通管件5、炉体6通过塑料软管1相连接。

手动切断阀设定在氮气路径的最前端，决定了氮气的开关。

PID调节系统7、将气动调节阀3和远传流量计4连接起来。

PID调节系统7通过远传流量计的输出值与给定SP值来控制气动调节阀的开度。

PID调节系统7是利用比例、微分、积分计算出控制量进行控制，以达到流量的随时调整。