[实用新型]一种酸性蚀刻液再生回收装置

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液再生回收装置，其特征在于：包括废液罐(1)、脱水罐(2)、电解槽(3)、化酸罐(4)、储液罐(5)、化酸剂储存罐(8)，所述废液罐(1)内储存有酸性蚀刻废液，所述脱水罐(2)内设有加热装置(11)，所述电解槽(3)内设有电解装置(10)，所述废液罐(1)和脱水罐(2)顶部与负压管(6)一端相连，所述负压管(6)中部设有负压发生器(7)，所述负压管(6)另一端与所述化酸罐(4)顶部相连；所述废液罐(1)、脱水罐(2)、电解槽(3)依次通过底部的连接管相连，所述电解槽(3)顶部一侧向外凸起形成壶嘴部(301)，该壶嘴部(301)顶部通过连接管与所述化酸罐(4)顶部相连，所述电解槽(3)底部通过连接管与所述储液罐(5)顶部相连；所述化酸罐(4)内设有喷头(9)，所述化酸剂储存罐(8)通过连接管与该喷头(9)相连。

2.根据权利要求1所述一种酸性蚀刻液再生回收装置，其特征在于：所述化酸罐(4)设有出气口(401)，该出气口(401)内设有滤网。

3.根据权利要求2所述一种酸性蚀刻液再生回收装置，其特征在于：所述喷头(9)位于所述出气口(401)上方并可喷淋到所述滤网。

4.根据权利要求3所述一种酸性蚀刻液再生回收装置，其特征在于：所述出气口(401)的出气端为斜向上设置。

5.根据权利要求1所述一种酸性蚀刻液再生回收装置，其特征在于：所述化酸剂储存罐(8)内的化酸剂为草酸或乙醇的水溶液。

6.根据权利要求1所述一种酸性蚀刻液再生回收装置，其特征在于：所述加热装置(11)为两根表面附有螺旋加热丝的加热管。

7.根据权利要求6所述一种酸性蚀刻液再生回收装置，其特征在于：所述两加热管分别固定在旋转架(12)两端，该旋转架(12)顶部与旋转电机(13)相连，使加热装置(11)可绕所述脱水罐(2)中心旋转。

8.根据权利要求1所述一种酸性蚀刻液再生回收装置，其特征在于：所述负压发生器(7)为风机，该风机的直径大于所述负压管(6)的内径。