[实用新型]一种高纯四氯化硅精馏装置

权利要求书

1.一种高纯四氯化硅精馏装置，其特征在于，该装置包括原料冷却器、脱轻精馏冷凝塔、脱重精馏冷凝塔，其中原料冷却器的管程进口连接原料进气管线，原料冷却器的管程出口连接脱轻精馏冷凝塔的原料进口，脱轻精馏冷凝塔的原料出口连接脱重精馏冷凝塔的进口，脱重精馏冷凝塔的塔顶出口通过管道连接产品充装线，脱重精馏冷凝塔的塔釜出口连接重组分回收装置，

脱轻精馏冷凝塔的塔顶出口经管道连接轻组分回收装置，脱轻精馏冷凝塔和脱重精馏冷凝塔分别连接有液氮进液管线和冷氮气排出管线，脱轻精馏冷凝塔和脱重精馏冷凝塔的冷氮气出口分别通过梯级跨线和副梯级跨线连接原料冷却器的壳程进口，原料冷却器的壳程出口连接冷氮排气管线。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，脱轻精馏冷凝塔和脱重精馏冷凝塔的液氮进液管线分别位于二者的上部；脱轻精馏冷凝塔和脱重精馏冷凝塔的冷氮气排出管线分别位于二者的中部。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，梯级跨线和副梯级跨线汇合后连接原料冷却器的壳程进口，汇合管线上设有温控流量调节阀。