[实用新型]一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器

权利要求书

1.一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器，其特征在于：包括宽带光源(1)、包覆ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)、光谱仪(3)，其中：

所述包覆氧化ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)内包含P1、P2、P3三个端口；

所述包覆氧化ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)中包含一号单模光纤(2-1)、二号单模光纤(2-2)、ZnO涂覆层(2-3)、锥形微纳耦合光纤(2-4)，包覆ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)的P1端和P3端与宽带光源(1)的输出端相连接，包覆ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)的P2端与光谱仪(3)相连接；

所述光谱仪(3)对包覆ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)所输出的光信号进行光谱检测，并根据检测结构相应的获得传感数据。

2.根据权利要求1所述的一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器，其特征在于：所述的ZnO涂覆层(2-3)采用对紫外光敏感的氧化锌纳米花结构。

3.根据权利要求1所述的一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器，其特征在于：所述的包覆ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)由两根G657A2单模光纤通过熔融拉锥制成。

4.根据权利要求1所述的一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器，其特征在于：所述的锥形微纳耦合光纤(2-4)的锥腰直径为6.7μm。

5.根据权利要求1所述的一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器，其特征在于：所述的包覆ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)两端分别与宽带光源(1)、光谱仪(3)连接，并作为紫外传感单元，完成对紫外光的传感。

6.根据权利要求1所述的一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器，其特征在于：所述宽带光源(1)为C波段宽带光纤光源，用于产生光信号。

7.根据权利要求1所述的一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器，其特征在于：所述基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器在外界紫外光强度发生变化时，ZnO涂覆层(2-3)折射率随外界紫外光的变化而变化，基于倏逝场原理改变包覆ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)输出光信号的干涉光谱。

8.根据权利要求1所述的一种基于ZnO薄膜的光纤紫外传感器，其特征在于：所述的包覆ZnO薄膜的微纳光纤耦合器(2)的P1端和P3端分光比为1:9。