[实用新型]一种掩膜版表面缺陷检测装置

权利要求书

1.一种掩膜版表面缺陷检测装置，包括设备本体(1)，其特征在于：所述设备本体(1)内腔的顶部固定连接有丝杠(2)，所述丝杠(2)的表面滑动连接有进步电机(3)，所述进步电机(3)的底部固定连接有电动伸缩杆(4)，所述电动伸缩杆(4)的底端固定连接有激光发生器(5)，所述激光发生器(5)的底部固定连接有激光扫描器(6)，所述设备本体(1)内腔的中部固定连接有放置板(7)，所述放置板(7)的顶部固定连接有无尘布(8)，所述设备本体(1)的表面固定连接有箱门(16)，所述箱门(16)的表面固定连接有显示屏(17)，所述箱门(16)表面的一侧固定连接有把手(18)。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版表面缺陷检测装置，其特征在于：所述设备本体(1)的底部固定连接有水箱(9)，所述水箱(9)的内部固定连接有双头水泵(10)，所述双头水泵(10)的两侧固定连接有出水管(11)，所述出水管(11)的一端贯穿设备本体(1)固定连接有雾化喷头(12)，所述水箱(9)顶部的一侧开设有排污口(13)，所述排污口(13)的底部固定连接有排污管(14)，所述排污管(14)的底部贯穿设备本体(1)的底部固定连接有活塞(15)。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜版表面缺陷检测装置，其特征在于：所述设备本体(1)两侧内壁的中部固定连接有支撑块(19)，所述支撑块(19)的顶部活动连接有放置板(7)，所述放置板(7)的表面开设有漏水孔。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜版表面缺陷检测装置，其特征在于：所述设备本体(1)的表面填充有聚氨酯防水涂层(20)，所述聚氨酯防水涂层(20)的表面填充有环氧树脂耐磨涂层(21)。

5.根据权利要求2所述的一种掩膜版表面缺陷检测装置，其特征在于：所述出水管(11)的数量有两个，两个所述出水管(11)分别位于设备本体(1) 内壁两侧的底部。

6.根据权利要求2所述的一种掩膜版表面缺陷检测装置，其特征在于：所述双头水泵(10)的底部固定连接有固定块，所述双头水泵(10)通过固定块固定连接在水箱(9)内腔的底部。

7.根据权利要求3所述的一种掩膜版表面缺陷检测装置，其特征在于：所述支撑块(19)的数量有四个，四个所述支撑块(19)以两个为一组分为两组，两组所述支撑块(19)分别位于设备本体(1)内壁两侧的中部。