[实用新型]一种等离子清洗机的气流导流结构

说明书

本实用新型涉及一种等离子清洗机的气流导流结构，属于等离子清洗技术领域；其设置在等离子清洗机上，等离子清洗机包括箱门以及箱体，其特征在于：所述箱体内设置有多个清洗舱室，所述箱门上设置有进气装置，所述箱体上设置有抽气装置，所述进气装置与抽气装置均能够连通至清洗舱室内，所述进气装置包括多个进气孔，每个清洗舱室均对应有进气孔，所述抽气装置包括导流夹层，所述导流夹层包括多个导流板，每个导流板上均阵列分布有多个贯通的抽气孔，每个导流板上的抽气孔孔径均不一致；本实用新型提供了一种等离子清洗机的气流导流结构，气体流向分布均匀，电离效果较好，清洗效果较好。

技术领域

本实用新型涉及一种等离子清洗机的气流导流结构，属于等离子清洗技术领域。

背景技术

等离子清洗机多用于等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、PCB板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，等离子清洗机使用时需要对机体内供气，再对气体供电，电离形成等离子体，用于清洗，现有的等离子清洗机供气与抽气装置结构单一，气体流向单一，较为集中，导致气体分布不均匀，电离效果较差，清洗效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种等离子清洗机的气流导流结构，气体流向分布均匀，电离效果较好，清洗效果较好。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种等离子清洗机的气流导流结构，设置在等离子清洗机上，所述等离子清洗机包括箱门以及箱体，所述箱体内设置有多个清洗舱室，所述箱门上设置有进气装置，所述箱体上设置有抽气装置，所述进气装置与抽气装置均能够连通至清洗舱室内，所述进气装置包括多个进气孔，每个清洗舱室均对应有进气孔，所述抽气装置包括导流夹层，所述导流夹层包括多个导流板，每个导流板上均阵列分布有多个贯通的抽气孔，每个导流板上的抽气孔孔径均不一致。

进一步地，所述导流夹层设置在箱体内，所述导流夹层设置在进气孔的对侧方向上，所述导流夹层包括两个导流板，靠近清洗舱室的导流板上的抽气孔的孔径小于另一个导流板上抽气孔的孔径。

进一步地，所述导流夹层还包括设置在导流板之间的以及导流板与箱体之间的安装垫板，所述抽气装置还包括真空管路，所述真空管路一端连通至导流夹层，另一端与真空泵连接。

进一步地，所述清洗舱室四周设置有绝缘隔板，所述绝缘隔板与箱体可拆连接。

进一步地，所述箱体连接有用于安装绝缘隔板的安装卡座，所述安装卡座上设有能够卡设绝缘隔板的安装卡槽。

进一步地，每个清洗舱室内对应设置有一物料支架，所述物料支架上设有多个储物腔，每个储物腔均对应有不少于一个进气孔。

进一步地，所述进气装置包括设置在箱门内侧上的进气管路，所述进气管路上开设有多个进气孔，所述进气管路与供气接口连通，所述供气接口设置在箱门上且与外部的供气机连通。

进一步地，所述进气管路包括两根进气横管、设置在两根进气横管之间的进气竖管以及用于连接进气横管与供气接口的主供气管，对应每个储物腔的中间位置均设有进气竖管，所述进气竖管两端分别连通一进气横管，所述主供气管的两端分别与两个进气横管的中间位置连通，所述主供气管的中间位置与供气接口连通。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果：

本技术方案设有导流夹层，导流夹层设有多个导流板且导流板上的抽气孔的孔径各不一致，能够减缓气体流动速度，提高气体的留存时间，确保气体的扩散空间与扩散效果，确保清洗作业的效果；

本技术方案设有多个清洗舱室，在一定程度上相互独立隔绝，减少相互之间的干扰，确保作业安全，提升作业效率；

本技术方案设有物料支架，且物料支架上设有多个储物腔，能够同时放置多个物料盒，提升作业效率；