[实用新型]一种等离子清洗机的导电结构

说明书

本实用新型涉及一种等离子清洗机的导电结构，属于等离子清洗技术领域；其包括箱体以及设置在箱体内的导电载物框架，导电载物框架包括正极导电墙板以及负极导电墙板，箱体为金属材质且接地，负极导电墙板与箱体电连接，正极导电墙板连接正极，导电载物框架两端最外侧为正极导电墙板，导电载物框架内沿着水平方向阵列设置有多块负极导电墙板，相邻的负极导电墙板之间设有一正极导电板，负极导电墙板与正极导电墙板均为竖向放置且相互平行；本实用新型提供了一种等离子清洗机的导电结构，结构简单，使用方便，能够提升作业效率，确保清洗效果。

技术领域

本实用新型涉及一种等离子清洗机的导电结构，属于等离子清洗技术领域。

背景技术

等离子清洗机多用于等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、PCB 板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，清洗时，需要对内部的气体进行电离，现有的等离子清洗机内部的导电结构复杂，安装维护不方便，前期取放物料所需的时间较长，效率较低，而且清洗效果不好，均匀性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种等离子清洗机的导电结构，结构简单，使用方便，能够提升作业效率，确保清洗效果。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种等离子清洗机的导电结构，其包括箱体、正极导电柱以及设置在箱体内的导电载物框架，所述导电载物框架包括正极导电墙板以及负极导电墙板，所述箱体为金属材质且接地，所述负极导电墙板与箱体电连接，所述正极导电墙板连接正极，所述导电载物框架两端最外侧为正极导电墙板，所述导电载物框架内沿着水平方向阵列设置有多块负极导电墙板，相邻的负极导电墙板之间设有一正极导电板，所述负极导电墙板与正极导电墙板均为竖向放置且相互平行。

进一步地，所述箱体内设有多个隔离腔室，每个隔离腔室四周均设有绝缘隔离板，每个隔离腔室内均放置有一导电载物框架。

进一步地，所述导电载物框架底面与箱体内底面之间通过负极导电支撑柱来连接，所述正极导电柱穿设在导电载物框架下方的隔离板内，所述正极导电载物框架底面上设有连接负极导电支撑柱的沉孔，所述导电柱下方设有凸起的箱体定位柱，所述箱体定位柱能够插设固定在箱体上。

进一步地，所述导电载物框架还包括设置在顶面的正极导电顶板，所述正极导电顶板与导电载物框架内的每块正极导电墙板电连接，所述箱体上部设置有正极导电连接板，每个导电载物框架内的正极导电顶板均与正极导电连接板电连接，所述正极导电连接板与电源正极电连接，所述正极导电顶板与负极导电层板之间通过绝缘柱连接。

进一步地，所述正极导电顶板与正极导电连接板之间通过正极导电柱电连接，所述正极导电柱能够穿过箱体上部将正极导电顶板与正极导电连接板电连接，所述正极导电柱与箱体之间设有绝缘套筒。

进一步地，所述导电载物框架还包括水平设置在底面的负极支撑电板以及设置在负极支撑电板与正极导电顶板之间负极导电层板，所述负极导电墙板与负极支撑电板电连接，所述负极导电墙板与负极导电层板电连接，所述正极导电顶板与负极支撑电板通过绝缘柱连接，所述负极导电层板上设有允许正极导电墙板穿过的穿孔，所述正极导电墙板与穿孔不接触。

进一步地，导电载物框架上，除两端最外侧的负极导电墙板外，内部的正极导电墙板与负极导电墙板均设置有气流通孔。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果：

本技术方案设有正极导电墙板与负极导电墙板，相互间隔设置，结构简单，使用方便，电离效果好，均匀性好；

本技术方案设有气流通孔，能够便于气体在隔离腔室内流通，便于气体分布更均匀，电离与清洗效果更好；

本技术方案设有导电定位柱，能够方便导电载物框架与箱体之间的连接与定位；