[实用新型]一种MEMS甲烷环境气体传感器有效
申请号: | 202022489070.1 | 申请日: | 2020-11-02 |
公开(公告)号: | CN213903452U | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 孙京飞 | 申请(专利权)人: | 无锡灵芯智能科技有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 西安万知知识产权代理有限公司 61264 | 代理人: | 贾凌志 |
地址: | 214000 江苏省无锡市滨*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 mems 甲烷 环境 气体 传感器 | ||
本实用新型公开了一种MEMS甲烷环境气体传感器,包括预设挂体,所述预设挂体的中间位置开设有向内凹陷的安装凹槽,所述安装凹槽内部安装有承接安装块,所述承接安装块的另一端连接有甲烷声光报警传感机构,所述甲烷声光报警传感机构的内部设置有MEMS甲烷传感器,所述甲烷声光报警传感机构的另一端安装有多孔筛网。本实用新型,设置有MEMS芯片和ASIC芯片,MEMS芯片上运用MEMS技术安装有特殊的检测甲烷气体的膜层,能识别环境气体中的甲烷气体并将甲烷气体的浓度检测出来,在未到达预定值时只显示数值和记录保存,在超过预定值时,显示数值和记录保存的同时启动声光示警报警,提醒人员注意注意自身安全。
技术领域
本实用新型涉及有毒有害气体传感器技术领域,具体是一种MEMS甲烷环境气体传感器。
背景技术
甲烷是无色、无臭、无味的气体,故易于忽略而致中毒。甲烷对人基本无毒,但浓度过高时,使空气中氧含量明显降低,使人窒息。当空气中甲烷达25%-30%时,可引起头痛、头晕、乏力、注意力不集中、呼吸和心跳加速、共济失调。若不及时脱离,可致窒息死亡。皮肤接触液化本品,可致冻伤,易燃,与空气混合能形成爆炸性混合物,遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。与五氧化溴、氯气、次氯酸、三氟化氮、液氧、二氟化氧及其它强氧化剂接触剧烈反应。
传感器作为检测器件,现已普遍应用在手机、笔记本电脑、平板电脑以及穿戴设备之中。近年来,随着科技的快速发展,微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)应运而生,MEMS传感器成为应用广泛、较为常见的传感器类型。MEMS(MicroElectro Mechanic System,微机电系统)传感器已广泛地应用于各种可携式行动装置,其组件结构须于底部基材刻蚀出大直径的通孔作为背腔结构,而背腔与感测薄膜的相对位置,直接影响结构边界的应力变化及低频讯号的撷取。
ASIC芯片是由于供专门应用的集成电路(ASIC,Application SpecificIntegrated Circuit)芯片技术,在集成电路界被认为是一种为专门目的而设计的集成电路。ASIC芯片技术发展迅速,目前ASIC芯片间的转发性能通常可达到1Gbs甚至更高,于是给交换矩阵提供了极好的物质基础。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种MEMS甲烷环境气体传感器,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供以下解决方案:
一种MEMS甲烷环境气体传感器,包括预设挂体,所述预设挂体的中间位置开设有向内凹陷的安装凹槽,所述安装凹槽内部安装有承接安装块,所述承接安装块的另一端连接有甲烷声光报警传感机构,所述甲烷声光报警传感机构的内部设置有MEMS甲烷传感器,所述甲烷声光报警传感机构的另一端安装有多孔筛网,所述MEMS甲烷传感器的内部一侧设置有MEMS芯片,所述MEMS甲烷传感器的内部另一侧设置有ASIC芯片。
作为本技术方案的进一步改进,所述安装凹槽内部对称的开设有两个向内凹陷的固定卡接凹槽,所述固定卡接凹槽的内部远离预设挂体的一侧设置有卡接凸块挡板,所述承接安装块靠近预设挂体的一端设置有两个与固定卡接凹槽对应的固定卡接脚,所述固定卡接脚远离甲烷声光报警传感机构的一端外侧设置有固定卡接凸块,所述固定卡接凹槽与固定卡接脚滑动配合,所述固定卡接凸块与卡接凸块挡板卡接卡接配合。
作为本技术方案的进一步改进,所述MEMS甲烷传感器的外部靠近多孔筛网的一端一侧设置有警示报警喇叭且警示报警喇叭与MEMS甲烷传感器内部ASIC芯片通过数据线接通,所述MEMS甲烷传感器外部靠近多孔筛网的另一端设置有警示报警灯且警示报警灯与MEMS甲烷传感器内部ASIC芯片通过数据线接通。
作为本技术方案的进一步改进,所述MEMS甲烷传感器的上下表面开设有贯通的若干个等间距均匀排布的气体串通孔,所述MEMS甲烷传感器内部的MEMS芯片两端横跨气体串通孔安装在MEMS甲烷传感器内部的一侧。
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