[实用新型]磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置

说明书

本实用新型公开了一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置，一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，包括定位块和安装块；安装块包括横向安装块和纵向安装块，纵向安装块长度方向上一端为拼接端、另一端为安装端，横向安装块垂直连接在纵向安装块拼接端端部、使横向安装块和纵向安装块形成L形；定位块为方形块，纵向安装块安装端的上表面设有凹槽，凹槽与定位块相互匹配，定位块安装在凹槽内、且定位块的上表面高出纵向安装块的上表面。上述装置，加工偏差小，精度高，角度偏差在0.02°以内，且稳定性好，提高了产品合格率，同时避免了因解理而导致的成品率低的问题；结构简单，稳定性好。

技术领域

本实用新型涉及一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置，属于磷化铟晶棒参考边的制备领域。

背景技术

参考边是单晶棒一项重要的外观指标。磷化铟晶棒通过LEC法、VGF法等方法生长出来后，通过外圆加工后，需要制备参考边。现有技术中，磷化铟晶棒参考边的加工方法为平磨，由于平面磨在取放过程中存在一定的偏差，该方式加工后角度偏差通常在0.02～0.1°左右，少量能做到0.02°内，加工很不稳定，且不能保证合格率，很难达到客户要求的0.02°以内的要求。为了提高加工精度，在国内外甚至采用解理的方式制备，由于解理需要用到外力方式，容易引起晶片90°位置解理，因此良率及成品率就成为量产的首要问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置，定位治具结构简单，稳定性好；加工装置，加工偏差小，精度高，稳定性好。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，包括定位块和安装块；安装块包括横向安装块和纵向安装块，纵向安装块长度方向上一端为拼接端、另一端为安装端，横向安装块垂直连接在纵向安装块拼接端端部、使横向安装块和纵向安装块形成L形；定位块为方形块，纵向安装块安装端的上表面设有凹槽，凹槽与定位块相互匹配，定位块安装在凹槽内、且定位块的上表面高出纵向安装块的上表面。

凹槽与方形块相互匹配，指凹槽与方形块形状相同、大小相适应，方形块可匹配安装在凹槽内。

使用时，将磷化铟晶棒在X射线晶体定向仪上进行角度找正，然后在磷化铟晶棒上划线做标记，然后利用502胶等将磷化铟晶棒基准面粘在定位块上、固化，再将定位块安装在纵向安装块的凹槽内，完成磷化铟晶棒的安装。磷化铟晶棒的直径应大于定位块的外径，安装完成后，磷化铟晶棒应超出横向安装块安装端的端部、且超出的部分大于需要切割的厚度，以确保参考边的顺利制备。

为了提高装置的使用稳定性，安装块的横向安装块和纵向安装块为一体成型结构。

为了进一步提高操作稳定性，定位块和安装块所用材质均为铁。

为了便于拆装，同时确保磨制时的稳定性，定位块通过螺栓安装在凹槽内。

为了进一步提高操作稳定性，定位块通过两个以上的螺栓安装在凹槽内。进一步优选，定位块通过呈十字形排列的四个螺栓安装在凹槽内。

一种磷化铟晶棒参考边的加工装置，包括上述磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，还包括机架、角度调整器、平移机构和内圆切割装置；角度调整器、平移机构和内圆切割装置均安装在机架上，安装块连接在角度调整器上，安装块和角度调整器均位于平移机构上，内圆切割装置上的内圆割刀片位于纵向安装块安装端一端外围。

使用时，先按照前述方法将粘结有磷化铟晶棒的定位块安装在安装块上；然后利用内圆切割的方式，先粗切0.1mm左右小平边，再定向，将偏差转换为角度刻度，通过角度调整器带动磷化铟晶棒偏转相应的角度刻度、以消除偏差，再继续以内圆切割的方式切割，即可得到标准的角度面，角度偏差≤0.02°。