[实用新型]一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪

权利要求书

1.一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，包括固定底座（1），所述固定底座（1）的上表面两侧分别固定连接有支撑架（2），两个所述支撑架（2）的顶部均固定连接有移动导轨（3），其特征在于：所述固定底座（1）的内部开设有安装槽（4），所述安装槽（4）的内侧活动套接有第一滚轴丝杆（5），所述第一滚轴丝杆（5）的一侧固定连接有旋钮（7），所述第一滚轴丝杆（5）的外侧活动套接有活动块（6），所述第一滚轴丝杆（5）的一端外侧活动套接有固定卡套（13），所述固定卡套（13）的内部活动套接有固定齿轮（14），所述固定齿轮（14）的内侧固定连接于所述第一滚轴丝杆（5）的一端外侧，所述固定齿轮（14）的前表面两侧分别活动连接有活动卡块（15），所述活动卡块（15）的上表面内部活动套接有固定轴（16），所述固定轴（16）的上表面固定连接于所述固定卡套（13）的内部顶端，所述活动卡块（15）的上表面开设有固定卡槽（17），所述固定卡套（13）的前表面活动连接有移动开关（18），所述移动开关（18）的后表面固定连接有连接块（19），所述连接块（19）的后表面固定连接有限位挡块（20），所述限位挡块（20）的后表面固定连接有弹性卡块（21）。

2.根据权利要求1所述的一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于：所述固定底座（1）的一侧固定连接有支撑底座（8），所述支撑底座（8）的顶部固定连接有马达（9），所述马达（9）的一侧固定连接有第二滚轴丝杆（10），所述第二滚轴丝杆（10）的外侧活动套接有移动块（11），所述移动块（11）的底部固定连接有激光探测头（12）。

3.根据权利要求1所述的一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于：所述固定底座（1）的另一侧开设有圆形开口，所述第一滚轴丝杆（5）的一端贯穿于所述圆形开口内与所述旋钮（7）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于：所述活动卡块（15）的后表面开设有与所述固定齿轮（14）外侧相适配的固定凹槽，所述固定齿轮（14）的前表面啮合连接于所述固定凹槽的后表面。

5.根据权利要求1所述的一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于：所述固定卡套（13）的一端内部固定连接有限位卡块（22），所述第一滚轴丝杆（5）活动套接于所述限位卡块（22）的内侧。

6.根据权利要求1所述的一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于：所述固定卡套（13）的前表面开设有固定开口，所述连接块（19）活动套接于所述固定开口的内侧。

7.根据权利要求2所述的一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于：所述移动导轨（3）的上表面开设有限位滑槽（23），所述移动块（11）的内部底端固定连接有限位滑块（24），所述限位滑块（24）活动套接于所述限位滑槽（23）的内侧。